本文關(guān)鍵詞： 激光制造 后表面損傷 皮秒激光 燒蝕 K玻璃　出處：《中國激光》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：考察了利用皮秒激光燒蝕切割K9玻璃過程中后表面的燒蝕損傷現(xiàn)象,比較了前、后表面的燒蝕特性,分析了激光能量密度、掃描次數(shù)和掃描速度等因素對(duì)后表面損傷的影響。根據(jù)后表面燒蝕形貌和質(zhì)量,優(yōu)化了激光單行單次掃描時(shí)的激光能量密度和掃描速度等參數(shù)。討論了后表面燒蝕損傷的機(jī)理,提出了抑制后表面損傷的方法。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,激光聚焦在前表面進(jìn)行燒蝕切割時(shí),后表面會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的燒蝕損傷,且后表面燒蝕形貌和規(guī)律與前表面的顯著不同。
[Abstract]:The ablative damage on the back surface of K9 glass was investigated by using picosecond laser ablation. The ablation characteristics of the front and rear surfaces were compared, and the laser energy density was analyzed. According to the ablation morphology and quality of the back surface, the laser energy density and scanning speed are optimized. The mechanism of the ablation damage on the back surface is discussed. The experimental results show that there will be severe ablation damage on the front surface when laser focus is focused on the front surface, and the ablation morphology and law of the rear surface are different from those of the front surface.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：脈沖功率激光技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放研究基金(SKL2014KF05) 中國科學(xué)院高功率激光物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金(CXJJ-16S040)
【分類號(hào)】：TQ171.68;TN249

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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