本文關鍵詞： 激光技術 激光損傷修復 時域有限差分法 瑞利-索末菲衍射積分　出處：《中國激光》2016年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對三倍頻光學元件后表面的損傷修復形貌,分別采用時域有限差分法(FDTD)和瑞利-索末菲(R-S)衍射積分法,來模擬不同形貌下元件修復區(qū)域內(nèi)以及其后續(xù)的光場分布。結果表明,當修復坑截面輪廓線端點切線與光束傳播方向夾角大于70°時,元件內(nèi)部光強極大值小于1.66,修復效果優(yōu)于其他角度。夾角為70°、寬200μm的拋物面型、圓錐型和圓臺型凹坑的后續(xù)光強極大值小于1.46。但是當修復坑寬度較大如達到1mm時,圓臺型凹坑的后續(xù)光強極大值高達9.31,且作用區(qū)間長。因此,考慮實際激光修復工藝的難度,夾角大于70°的圓錐型凹坑是石英元件后表面損傷修復的首選形貌。
[Abstract]:In view of the damage repair morphology of triple-frequency optical elements, FDTD and Rayleigh Sommerfeld R-S diffraction integration methods were used to simulate the light field distribution in the repair region and its follow-up under different morphologies, respectively, using FDTD and Rayleigh Sommerfeld diffraction integration method. When the angle between the end tangent of the profile of the repairing pit section and the direction of beam propagation is greater than 70 擄, the maximum of light intensity inside the element is less than 1.66, and the repair effect is superior to that of other angles, which is a paraboloid with an angle of 70 擄and a width of 200 渭 m. The maximum value of subsequent light intensity of conical and platform type cones is less than 1.46.However, when the width of repairing pit is larger than 1 mm, the maximum value of subsequent light intensity of conical pit is up to 9.31, and the range of action is long. Therefore, the difficulty of practical laser repair technology is considered. Conical pits with an angle greater than 70 擄are the preferred morphology for surface damage repair of quartz elements.
【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光物理聯(lián)合實驗室;中國科學院大學;
【基金】：中國科學院青年創(chuàng)新促進會
【分類號】：TN249

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本文編號：1536733