本文關(guān)鍵詞： 高重頻 皮秒脈沖 多晶硅 激光輻照 損傷機理　出處：《長春理工大學》2017年碩士論文　論文類型：學位論文

【摘要】：激光與半導體材料相互作用的研究日益成為國內(nèi)外激光技術(shù)應用領(lǐng)域的研究熱點之一。高重復頻率激光輻照下,多晶硅材料的損傷閾值會降低,低脈沖能量、高重復頻率激光在激光加工中應用,可以提高加工效率。因此,研究多晶硅材料的多脈沖損傷機理,掌握多晶硅材料在高重頻皮秒脈沖激光輻照下的損傷規(guī)律是非常有意義的。本文對高重頻皮秒脈沖激光作用多晶硅材料的損傷機理進行了研究。首先分析了多晶硅材料的基本特性。然后建立高重頻皮秒脈沖激光輻照多晶硅材料的實驗系統(tǒng),開展了多晶硅材料的激光輻照實驗,測量了多晶硅材料在不同輻照時間下的損傷閾值;研究了多種重復頻率激光輻照多晶硅的損傷規(guī)律;探究高重頻皮秒脈沖條件下波長差異對多晶硅損傷的差異。最后得到多晶硅材料在高重頻皮秒脈沖激光輻照下的損傷特性和損傷規(guī)律,分析高重頻皮秒脈沖激光輻照多晶硅的損傷機理。本研究結(jié)果為高重頻皮秒脈沖激光熔覆、切割和上色等多晶硅材料加工工藝奠定基礎(chǔ)。
[Abstract]:The study of the interaction between laser and semiconductor materials has become one of the hotspots in the field of laser technology application at home and abroad. The damage threshold of polycrystalline silicon materials will be reduced and the pulse energy will be reduced under high repetition rate laser irradiation. The application of high repetition rate laser in laser processing can improve the processing efficiency. Therefore, the mechanism of multi-pulse damage of polysilicon materials is studied. It is very significant to master the damage law of polycrystalline silicon materials irradiated by high-repetition picosecond pulse laser. In this paper, the damage mechanism of polycrystalline silicon by high-repetition picosecond pulse laser is studied. Firstly, the damage mechanism of polycrystalline silicon is analyzed. The basic characteristics of silicon materials. Then the experimental system of polycrystalline silicon irradiated by high-repetition picosecond pulse laser was established. The damage threshold of polysilicon under different irradiation time was measured, and the damage law of polysilicon irradiated by multiple repetition rate laser was studied. The damage characteristics and damage rules of polycrystalline silicon under high repetition rate picosecond laser irradiation were obtained. The damage mechanism of polycrystalline silicon irradiated by high-repetition picosecond pulse laser was analyzed. The results laid a foundation for the fabrication of polycrystalline silicon materials such as cladding, cutting and coloring of polycrystalline silicon materials with high repetition frequency picosecond pulse laser.
【學位授予單位】：長春理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TN249;TN304.12

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本文編號：1534864