本文關(guān)鍵詞： 光學(xué)器件 激光器 電場分布 數(shù)值仿真 緊湊型張氏面型電極　出處：《激光技術(shù)》2017年05期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了獲得準(zhǔn)分子激光器高脈沖能量輸出,采用張氏面型電極的理論,設(shè)計(jì)了一套能產(chǎn)生大面積均勻電場的緊湊型電極。通過ANSYS軟件數(shù)值仿真獲得了電極表面電場分布,并與緊湊型張氏面型電極的理論計(jì)算結(jié)果進(jìn)行了對比驗(yàn)證;分析了紫外火花預(yù)電離結(jié)構(gòu)對電極放電的影響,并進(jìn)行了電位和電場分布仿真。結(jié)果表明,預(yù)電離板的存在直接影響了電極之間的電位和電場分布;電場仿真結(jié)果解釋了預(yù)電離板的頂端與陽極形成放電的原因。該研究為大面積輝光放電電極設(shè)計(jì)提供了更深入的理論支持。
[Abstract]:In order to obtain high pulse energy output of excimer laser, the theory of Zhang's surface electrode is adopted. A compact electrode was designed to generate a large area of uniform electric field, and the electric field distribution on the electrode surface was obtained by numerical simulation with ANSYS software. The calculated results are compared with those of the compact Zhang's surface electrode. The effect of ultraviolet spark preionization structure on electrode discharge is analyzed, and the potential and electric field distribution are simulated. The results show that the existence of preionization plate has a direct effect on the potential and electric field distribution between electrodes. The electric field simulation results explain the reason of the discharge between the top of the preionization plate and the anode, and this study provides more theoretical support for the design of large-area glow discharge electrode.
【作者單位】： 中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)研究生院科學(xué)島分院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61307112)
【分類號】：TN248
【正文快照】： 引言準(zhǔn)分子激光器已廣泛應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療和科研等領(lǐng)域。液晶平板退火、微細(xì)結(jié)構(gòu)加工和表面處理等應(yīng)用促進(jìn)了大功率準(zhǔn)分子激光器的發(fā)展[1]。實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)分子激光高平均功率輸出的基本途徑有兩條:(1)高單脈沖能量運(yùn)行;(2)高重復(fù)頻率運(yùn)行[2]。獲得高單脈沖激光輸出能量,一方面需要在

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本文編號：1476552