本文關鍵詞： 微納電子技術 納米材料 納米技術應用 微細加工技術 中文核心期刊 微系統(tǒng) 技術論壇 顯微技術 微電子領域 功能材料 　出處：《微納電子技術》2014年10期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：正《微納電子技術》于2002年創(chuàng)刊(月刊),在短短的幾年里,已成為中文核心期刊、中國科技核心期刊,并被國內外多家知名數據庫收錄。欄目分為:技術論壇,器件與技術,材料與結構,MEMS與傳感器,加工、測量與設備,國際視點。主要內容包括:納電子學、微系統(tǒng)與納系統(tǒng)、納電子器件與技術、納米材料與結構、功能材料與新材料、納米測試與顯微技術、MEMS與傳感器、微細加工技術與設備、納米技術應用等領域國內外的最新進展,并兼顧微電子領域的最新研究成果。
[Abstract]:In 2002, it was founded in 2002. In a few short years, it has become the core journal of Chinese and the core journal of science and technology of China. And included by many well-known databases at home and abroad. Columns are divided into: technical forums, devices and technologies, materials and structures MEMS and sensors, processing, measurement and equipment. International Viewpoint. The main contents include: nanoelectronics, microsystems and nanosystems, nanoelectronic devices and technologies, nanomaterials and structures, functional materials and new materials, nanometers and microscopes, MEMS and sensors. The latest development of micromachining technology and equipment, nanotechnology application at home and abroad, as well as the latest research results in the field of microelectronics.
【分類號】：+
【正文快照】： 《微納電子技術》于2002年創(chuàng)刊(月刊),在短短的幾年里,已成為中文核心期刊、中國科技核心期刊,并被國內外多家知名數據庫收錄。欄目分為:技術論壇,器件與技術,材料與結構,MEMS與傳感器,加工、測量與設備,國際視點。主要內容包括:納電子學、微系統(tǒng)與納系統(tǒng)、納電子器件與技術、，

本文編號：1467468