本文關(guān)鍵詞： 微納電子技術(shù) 納米材料 納米技術(shù)應(yīng)用 微細(xì)加工技術(shù) 中文核心期刊 微系統(tǒng) 技術(shù)論壇 顯微技術(shù) 微電子領(lǐng)域 功能材料 　出處：《微納電子技術(shù)》2014年10期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：正《微納電子技術(shù)》于2002年創(chuàng)刊(月刊),在短短的幾年里,已成為中文核心期刊、中國(guó)科技核心期刊,并被國(guó)內(nèi)外多家知名數(shù)據(jù)庫(kù)收錄。欄目分為:技術(shù)論壇,器件與技術(shù),材料與結(jié)構(gòu),MEMS與傳感器,加工、測(cè)量與設(shè)備,國(guó)際視點(diǎn)。主要內(nèi)容包括:納電子學(xué)、微系統(tǒng)與納系統(tǒng)、納電子器件與技術(shù)、納米材料與結(jié)構(gòu)、功能材料與新材料、納米測(cè)試與顯微技術(shù)、MEMS與傳感器、微細(xì)加工技術(shù)與設(shè)備、納米技術(shù)應(yīng)用等領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外的最新進(jìn)展,并兼顧微電子領(lǐng)域的最新研究成果。
[Abstract]:In 2002, it was founded in 2002. In a few short years, it has become the core journal of Chinese and the core journal of science and technology of China. And included by many well-known databases at home and abroad. Columns are divided into: technical forums, devices and technologies, materials and structures MEMS and sensors, processing, measurement and equipment. International Viewpoint. The main contents include: nanoelectronics, microsystems and nanosystems, nanoelectronic devices and technologies, nanomaterials and structures, functional materials and new materials, nanometers and microscopes, MEMS and sensors. The latest development of micromachining technology and equipment, nanotechnology application at home and abroad, as well as the latest research results in the field of microelectronics.
【分類號(hào)】：+
【正文快照】： 《微納電子技術(shù)》于2002年創(chuàng)刊(月刊),在短短的幾年里,已成為中文核心期刊、中國(guó)科技核心期刊,并被國(guó)內(nèi)外多家知名數(shù)據(jù)庫(kù)收錄。欄目分為:技術(shù)論壇,器件與技術(shù),材料與結(jié)構(gòu),MEMS與傳感器,加工、測(cè)量與設(shè)備,國(guó)際視點(diǎn)。主要內(nèi)容包括:納電子學(xué)、微系統(tǒng)與納系統(tǒng)、納電子器件與技術(shù)、，

本文編號(hào)：1467468