本文關鍵詞： 體聲波 濾波器 薄膜體聲波諧振器 變跡電極 聲-電磁協(xié)同仿真 布局　出處：《強激光與粒子束》2017年11期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對無人機測控應用設計了一種S波段窄帶帶通體聲波(BAW)濾波器,其技術指標為:中心頻率2.46 GHz,帶寬41 MHz,帶內(nèi)插損大于-3 d B,帶內(nèi)紋波小于1 d B,帶外抑制小于-40 d B@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型設計了BAW濾波器中各薄膜體聲波諧振器(FBAR)的疊層結構;使用變跡法設計了各FBAR(電極)的形狀;采用一種自行開發(fā)的自動布局方法得到緊湊的BAW濾波器布局;建立了BAW濾波器的聲-電磁協(xié)同仿真模型,通過這種高保真的多物理場仿真方法對設計結果進行了性能驗證。該設計流程是通用的,并且有兩個特點:采用聲-電磁協(xié)同仿真方法對設計階段的BAW濾波器進行最終性能檢驗,可以及早發(fā)現(xiàn)并拒絕1D Mason模型過于樂觀的設計;濾波器布局設計中采用了一種新的自動化布局方法,大大簡化了在此階段的反復嘗試工作,也為聲-電磁協(xié)同仿真模型輸出了必需的面內(nèi)結構信息。
[Abstract]:A S-band narrowband all-body acoustic wave filter (BAW) is designed for UAV measurement and control applications. Its technical specifications are as follows: central frequency 2.46 GHz, bandwidth 41 MHz. The band insertion loss is greater than 3 dB and the band ripple is less than 1 dB. The out-of-band suppression is less than -40 dB @ 2.385 GHz and 2.506 GHz. The thin film bulk acoustic resonator in the BAW filter is designed by using the Mason model. The laminated structure; The shapes of FBARs are designed by using the method of apodization. The compact BAW filter layout is obtained by using a self-developed automatic layout method. The acoustic-electromagnetic cooperative simulation model of BAW filter is established, and the design results are verified by this high-fidelity multi-physical field simulation method. The design flow is universal. And there are two characteristics: using acoustic-electromagnetic cooperative simulation method to test the final performance of the BAW filter in the design stage can find and reject the over-optimistic design of 1D Mason model as early as possible; A new automatic layout method is adopted in the filter layout design, which greatly simplifies the repeated attempts at this stage and outputs the necessary in-plane structure information for the acousto-electromagnetic cooperative simulation model.
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;中國科學院高能物理研究所核探測與核電子學國家重點實驗室;西南科技大學信息工程學院;
【基金】：國家自然科學基金項目(61574131) 中國工程物理研究院超精密加工技術重點實驗室基金項目(2014ZA001) 西南科技大學特殊環(huán)境機器人技術四川省重點實驗室開放基金項目(14ZXTK01)
【分類號】：TN713
【正文快照】： 隨著全球無線通信市場的發(fā)展,射頻前端產(chǎn)品的需求量急劇上升。濾波器作為射頻前端的核心器件,對推動新一代5G通信標準的發(fā)展、個人移動終端的小型化和多功能化有著重要的意義�；趬弘姳∧げ牧系捏w聲波(BAW)濾波器,具有陡峭的濾波曲線、低插入損耗和優(yōu)良的帶外抑制能力[1],因

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本文編號：1459097