本文關(guān)鍵詞： 激光微加工 拋光參數(shù) 數(shù)學(xué)建模　出處：《激光雜志》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：當(dāng)前拋光參數(shù)數(shù)學(xué)建模分析方法精度低,建立新激光微加工的拋光參數(shù)數(shù)學(xué)模型,通過數(shù)學(xué)模型對(duì)溝壑的形成原理進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,獲取不同拋光工藝參數(shù)對(duì)表面激光微加工質(zhì)量影響的規(guī)律,為獲取最佳拋光參數(shù)組合提供理論依據(jù)。選用157 nm激光對(duì)表面進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn),通過最小二乘法求出不同輪廓中線的所有系數(shù),獲取輪廓中線的方程,將采樣點(diǎn)與輪廓中線絕對(duì)值的算數(shù)平均值作為粗糙度值,建立粗糙度數(shù)學(xué)模型。通過激光光斑面積對(duì)作用于表面的激光能量密度進(jìn)行描述,建立激光光斑面積數(shù)學(xué)模型。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,所提模型精度很高。
[Abstract]:At present, the precision of mathematical modeling and analysis method of polishing parameters is low. The mathematical model of polishing parameters of new laser micromachining is established, and the formation principle of gully is modeled by mathematical model. The effects of different polishing parameters on the surface laser micromachining quality were obtained, which provided the theoretical basis for obtaining the best polishing parameters. The surface polishing experiments were carried out with 157nm laser. By using the least square method, all coefficients of the midline of different contours are obtained, the equations of the midline of the contour are obtained, and the mean value of the absolute value of the sampling point and the midline of the contour is taken as the roughness value. The mathematical model of laser spot area is established by describing the laser energy density acting on the surface. The experimental results show that the proposed model has high accuracy.
【作者單位】： 鄭州大學(xué)西亞斯國(guó)際學(xué)院文理學(xué)院;
【基金】：江西省高校人文社會(huì)科學(xué)研究青年基金項(xiàng)目(XW1505)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 當(dāng)前拋光技術(shù)通常適于低精度拋光,不能實(shí)現(xiàn)小范圍高精度拋光,而激光拋光恰好能夠?qū)崿F(xiàn),可對(duì)材料進(jìn)行塑性或類塑性去除,降低表面粗糙度,在精密微加工中有明顯的優(yōu)勢(shì)。因此,分析表面激光微加工的拋光參數(shù)數(shù)學(xué)建模具有重要意義[1-3]。文獻(xiàn)[4]提出依據(jù)COMSOL軟件的多物理場(chǎng)對(duì)稱瞬態(tài)

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 耿玉珍;激光微加工技術(shù)輔助制造[J];光電子技術(shù)與信息;1999年02期

2 符永宏;潘國(guó)平;華�？�;符昊;高興東;;可實(shí)現(xiàn)特殊激光微加工工藝的控制系統(tǒng)[J];江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年02期

3 黃德修;;激光微加工發(fā)展?fàn)顩r剖析[J];激光與紅外;1984年06期

4 吉川省吾;;激光微加工[J];激光與紅外;1985年05期

5 李呈德,陳濤,左鐵釧;兩級(jí)復(fù)眼式準(zhǔn)分子激光微加工均束器的設(shè)計(jì)[J];中國(guó)激光;1999年06期

6 ;激光微加工應(yīng)用潛力的調(diào)查[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1999年01期

7 鄔泳;傅星;劉春陽(yáng);孫鳳鳴;胡小唐;;激光微加工系統(tǒng)及其控制單元的研究[J];電子技術(shù)應(yīng)用;2009年11期

8 朱立汀;張偉;;激光微加工設(shè)備模塊化設(shè)計(jì)[J];應(yīng)用激光;2009年02期

9 劉春陽(yáng);傅星;鄔泳;;納秒激光微加工系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)[J];應(yīng)用激光;2008年03期

10 胡芳林;韓永昊;;利用準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)制備光子晶體線路[J];武漢理工大學(xué)學(xué)報(bào);2009年09期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 楊雷;激光微加工系統(tǒng)中若干關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];鄭州大學(xué);2003年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 李睿;光束整形及其在飛秒激光微加工領(lǐng)域的應(yīng)用研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(西安光學(xué)精密機(jī)械研究所);2015年

2 閆曉光;X光顯微CT在激光微加工方面的應(yīng)用及其圖像處理[D];北京工業(yè)大學(xué);2016年

3 游欣易;激光微加工在線檢測(cè)系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];華中科技大學(xué);2015年

4 胡金玲;醫(yī)用鈦表面激光微加工及其生物活性研究[D];沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);2007年

5 盧濤;激光微加工系統(tǒng)研制[D];鄭州大學(xué);2002年

6 徐淼;激光微加工控制系統(tǒng)軟件及硬件的設(shè)計(jì)[D];吉林大學(xué);2008年

7 井亮;激光微加工輔助系統(tǒng)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2007年

8 徐東升;基于特殊激光微加工方法的設(shè)備研究和開發(fā)[D];江蘇大學(xué);2010年

9 申雪飛;激光微加工表面質(zhì)量改善的工藝實(shí)驗(yàn)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2012年

10 李奕;一體化納秒激光微加工數(shù)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];天津大學(xué);2008年

，

本文編號(hào)：1455095