本文關(guān)鍵詞：AlN壓電薄膜換能器性能的仿真研究　出處：《壓電與聲光》2017年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：在壓電換能器的制作中,電極對其諧振和反諧振頻率、機電耦合系數(shù)及品質(zhì)因數(shù)等重要性能有著直接的影響。該文針對AlN壓電薄膜復合結(jié)構(gòu),采用COMSOL Multiphysics有限元軟件對電極-AlN-不銹鋼結(jié)構(gòu)的三維模型進行了壓電-結(jié)構(gòu)耦合分析�；诖四Ｐ�,通過改變電極厚度、材料及壓電層的介電和機械損耗等參數(shù),來研究換能器的性能參數(shù)變化,研究結(jié)果對后續(xù)以不銹鋼為基底的壓電超聲換能器的制作起到了一定的理論指導作用。
[Abstract]:In the fabrication of piezoelectric transducer, the electrode has a direct impact on the resonant and antiresonant frequency, electromechanical coupling coefficient and quality factor, etc. In this paper, AlN piezoelectric thin film composite structure is studied. The piezoelectric structure coupling analysis of electrode AlN- stainless steel structure was carried out by using COMSOL Multiphysics finite element software. By changing the electrode thickness, dielectric and mechanical loss of the material and piezoelectric layer, the change of the performance parameters of the transducer is studied. The results provide theoretical guidance for the fabrication of piezoelectric ultrasonic transducers based on stainless steel.
【作者單位】： 南京航空航天大學機電學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51475229)
【分類號】：TN384
【正文快照】： 0引言近年來,隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展,壓電薄膜材料被廣泛的應用于傳感器、執(zhí)行器及換能器等器件中。AlN作為Ⅲ-Ⅴ族化合物,具有穩(wěn)定的六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)[1],這使其在沿(002)晶向(即c方向)受力時能夠產(chǎn)生壓電效應。AlN壓電薄膜雖然壓電性相對較低,但其具備化學穩(wěn)定性好,

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本文編號：1431154