本文關(guān)鍵詞：AlN壓電薄膜換能器性能的仿真研究　出處：《壓電與聲光》2017年05期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： AlN薄膜 壓電換能器 COMSOL 有效機(jī)電耦合系數(shù) 品質(zhì)因數(shù)

【摘要】：在壓電換能器的制作中,電極對(duì)其諧振和反諧振頻率、機(jī)電耦合系數(shù)及品質(zhì)因數(shù)等重要性能有著直接的影響。該文針對(duì)AlN壓電薄膜復(fù)合結(jié)構(gòu),采用COMSOL Multiphysics有限元軟件對(duì)電極-AlN-不銹鋼結(jié)構(gòu)的三維模型進(jìn)行了壓電-結(jié)構(gòu)耦合分析�；诖四Ｐ�,通過(guò)改變電極厚度、材料及壓電層的介電和機(jī)械損耗等參數(shù),來(lái)研究換能器的性能參數(shù)變化,研究結(jié)果對(duì)后續(xù)以不銹鋼為基底的壓電超聲換能器的制作起到了一定的理論指導(dǎo)作用。
[Abstract]:In the fabrication of piezoelectric transducer, the electrode has a direct impact on the resonant and antiresonant frequency, electromechanical coupling coefficient and quality factor, etc. In this paper, AlN piezoelectric thin film composite structure is studied. The piezoelectric structure coupling analysis of electrode AlN- stainless steel structure was carried out by using COMSOL Multiphysics finite element software. By changing the electrode thickness, dielectric and mechanical loss of the material and piezoelectric layer, the change of the performance parameters of the transducer is studied. The results provide theoretical guidance for the fabrication of piezoelectric ultrasonic transducers based on stainless steel.
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51475229)
【分類(lèi)號(hào)】：TN384
【正文快照】： 0引言近年來(lái),隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展,壓電薄膜材料被廣泛的應(yīng)用于傳感器、執(zhí)行器及換能器等器件中。AlN作為Ⅲ-Ⅴ族化合物,具有穩(wěn)定的六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)[1],這使其在沿(002)晶向(即c方向)受力時(shí)能夠產(chǎn)生壓電效應(yīng)。AlN壓電薄膜雖然壓電性相對(duì)較低,但其具備化學(xué)穩(wěn)定性好,

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;射頻濺射c-軸取向氧化鋅壓電薄膜的研制[J];壓電與聲光;1981年03期

2 余承杰;無(wú)機(jī)壓電薄膜及其應(yīng)用概況[J];壓電與聲光;1983年03期

3 魏道興;柔性復(fù)合壓電薄膜材料的應(yīng)用[J];電子元件與材料;1995年02期

4 崔天宏，，王立鼎，呂瓊瑩，馬建旭，梁靜秋;微電子機(jī)械系統(tǒng)中的壓電薄膜微馬達(dá)[J];光學(xué)精密工程;1995年04期

5 鄒英寅,王躍林;基于表面微機(jī)械和壓電薄膜技術(shù)的新型微諧振器[J];真空科學(xué)與技術(shù);1994年04期

6 吳瓊;聚偏氟乙烯壓電薄膜的應(yīng)用及國(guó)內(nèi)發(fā)展動(dòng)態(tài)[J];壓電與聲光;1994年06期

7 金仲和，陳曉明，鄒英寅;表面微機(jī)械結(jié)構(gòu)的氧化鋅壓電薄膜器件的工藝研究[J];微細(xì)加工技術(shù);1994年02期

8 ;其它材料[J];電子科技文摘;2000年11期

9 曲喜新,楊革,嚴(yán)康寧;ZnO/AlN復(fù)合壓電薄膜的研制[J];電子科技大學(xué)學(xué)報(bào);1993年03期

10 徐紅星,駱英,柳祖亭;PVDF壓電薄膜的應(yīng)用進(jìn)展[J];江蘇理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1999年05期

相關(guān)會(huì)議論文 前1條

1 湯亮;郝震宏;齊敏;孫泉;喬?hào)|海;;射頻磁控濺射法制備ZnO壓電薄膜及其性能分析[A];2010’中國(guó)西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2010年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前5條

1 王龍;基于AlN壓電薄膜的HBAR器件制備研究[D];江蘇科技大學(xué);2016年

2 馮艷露;基于ZnO壓電薄膜體聲波諧振器制備研究[D];沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);2016年

3 呂巖;基于PZT壓電薄膜的微驅(qū)動(dòng)器研究[D];大連理工大學(xué);2006年

4 朱琦;基于ZnO壓電薄膜側(cè)向場(chǎng)激勵(lì)薄膜體聲波諧振器的研究[D];浙江大學(xué);2014年

5 陳文;Li和Mn摻雜ZnO壓電薄膜的制備及性能研究[D];大連理工大學(xué);2006年

本文編號(hào)：1431154