本文關(guān)鍵詞：利用納米壓痕法研究單晶鍺的力學(xué)行為　出處：《熱加工工藝》2016年16期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：利用納米壓痕儀和原子力顯微鏡對(duì)單晶鍺(100)晶面進(jìn)行納米壓痕試驗(yàn)。通過載荷-壓深曲線和彈性回復(fù)率的變化情況對(duì)材料的變形機(jī)理以及硬度和彈性模量進(jìn)行研究。結(jié)果表明:單晶鍺(100)晶面在不同的壓入深度下分別經(jīng)歷了彈性變形、塑性變形和脆性斷裂;載荷-壓深曲線中出現(xiàn)明顯的突進(jìn)和突退現(xiàn)象,該現(xiàn)象與材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)發(fā)生相變密切相關(guān);單晶鍺(100)晶面存在明顯的壓痕尺寸效應(yīng)。該材料彈性模量的變化趨勢(shì)與硬度相一致。
【作者單位】： 昆明理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51365021)
【分類號(hào)】：TN304.11
【正文快照】： 晶體鍺的電子遷移率比硅高,強(qiáng)度比硅好,被廣泛應(yīng)用于紅外光學(xué)、高頻電子、航空、航天等領(lǐng)域[1]。而為了獲得納米級(jí)表面處理或微納米級(jí)復(fù)雜特性的鍺元件,就需要更好地了解單晶鍺在納米尺度下的變形機(jī)理和機(jī)械特性[2]。納米壓痕技術(shù)是一種在納米尺度上測(cè)量材料表面力學(xué)性能的常

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4 ;[J];;年期

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本文編號(hào)：1331074