本文關鍵詞：退火對金屬介質多層膜的界面擴散及抗化學清洗性能的影響　出處：《中國激光》2016年10期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：對金屬介質多層膜樣品進行不同溫度的退火處理。實驗發(fā)現(xiàn),當退火溫度為350℃時,在樣品Au層與SiO_2層的界面處出現(xiàn)過渡層,樣品具有很強的抗化學清洗能力。利用透射電子顯微鏡觀測與能譜儀分析發(fā)現(xiàn),過渡層的出現(xiàn)主要是Cr原子從Au層底部擴散到SiO_2層的結果。過渡層可以增強Au層與SiO_2層間的粘附力,阻擋酸溶液的滲入,使得金屬介質多層膜的抗化學清洗能力得到增強。
【作者單位】： 中國科學院大學;中國科學院上海光學精密機械研究所強激光材料重點實驗室;中國科學技術大學近代物理系核探測與核電子學國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(61405225,61405219)
【分類號】：TN25;TN24
【正文快照】： 脈沖壓縮光柵(PCG)是高功率激光系統(tǒng)中的重要元件之一[1],一般要求其具有高損傷閾值、高衍射效率1003002-1與足夠的帶寬。多層介質膜光柵(MDG)具有高損傷閾值和高衍射效率[2-3]而成為制備PCG的較佳選擇。然而,MDG內部介質層數(shù)較多、膜層較厚,導致其內部應力較大。金屬介質多層，

本文編號：1327121