貓眼回波探測(cè)1.06μm激光引發(fā)硅的損傷演化
本文關(guān)鍵詞:貓眼回波探測(cè)1.06μm激光引發(fā)硅的損傷演化 出處:《紅外與激光工程》2016年12期 論文類型:期刊論文
更多相關(guān)文章: 貓眼回波 微觀損傷形貌 演化 紋理特征
【摘要】:利用貓眼回波的變化研究焦平面上硅在激光輻照下的損傷演化。隨著激光輻照時(shí)間的增加,回波圖像出現(xiàn)抖動(dòng),產(chǎn)生新的紋理,判定焦平面上硅受到損傷。損傷對(duì)應(yīng)的回波圖像面積不斷擴(kuò)大,損傷區(qū)內(nèi)光斑結(jié)構(gòu)逐漸變得復(fù)雜,且光斑面積不斷減小,最終形成動(dòng)態(tài)穩(wěn)定的損傷回波圖像。依據(jù)回波圖像的變化分析硅的損傷形貌,依次出現(xiàn)表面氧化、小尺度形貌損傷、損傷面積擴(kuò)大等現(xiàn)象。初步分析了回波圖像紋理特征與焦平面上硅損傷形貌的對(duì)應(yīng)關(guān)系,認(rèn)為回波圖像損傷區(qū)光斑的自相關(guān)性與角二階矩隨著損傷形貌粗糙度的增大而減小。
【作者單位】: 脈沖功率激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(電子工程學(xué)院);
【基金】:脈沖功率激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金(SKL2014ZR06)
【分類號(hào)】:TN249
【正文快照】: 0引言激光對(duì)物質(zhì)的輻照效應(yīng)與激光的工作參數(shù)密切相關(guān),形成的表面損傷形貌也各不相同。目前對(duì)于激光損傷物質(zhì)引起的微觀形貌變化大多通過(guò)光學(xué)顯微鏡和電鏡掃描等技術(shù)手段進(jìn)行探測(cè),以分析激光輻照下物質(zhì)的損傷特性[1-3]。此外,在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中往往需要獲得盡可能多的信息,如利用激
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,本文編號(hào):1320804
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