本文關(guān)鍵詞：面向非線性特性的超精密平臺辨識和控制方法　出處：《哈爾濱工業(yè)大學(xué)》2016年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

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【摘要】：可變狹縫系統(tǒng)作為掃描光刻機重要的分系統(tǒng),在曝光等工作過程中起到了十分重要的作用�？勺儶M縫系統(tǒng)的核心部件為可變狹縫精密運動平臺,在精密運動控制中,平臺中含有的非線性特性不可忽略。本文以可變狹縫精密運動平臺為背景,對含有非光滑非線性特性的超精密平臺的建模、辨識及控制進行了研究。首先,本文結(jié)合光刻機的工作過程對可變狹縫系統(tǒng)的功能進行了介紹,然后分別從電控系統(tǒng)及機械系統(tǒng)設(shè)計兩方面對可變狹縫精密運動平臺進行了分析。其中電控系統(tǒng)是從系統(tǒng)級的角度對整個系統(tǒng)進行了介紹,而機械系統(tǒng)方面則著重對系統(tǒng)運動組件模態(tài)進行了分析,并對主要器件的選型和設(shè)計進行了簡要分析介紹。其次,本文引入關(guān)鍵項分離原則,以Wiener-Hammerstein系統(tǒng)結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),對精密運動平臺中可能含有的死區(qū)、飽和等典型單值非光滑非線性的系統(tǒng)進行了數(shù)學(xué)建模。并使用基于一般遞推算法的辨識算法進行辨識,最后分別給出了在有無輸出端噪聲的情形下的仿真結(jié)果,驗證模型及方法的有效性。再次,相對于典型單值非線性環(huán)節(jié),本文進一步闡述了在一些平臺中常見的較為復(fù)雜的多值間隙非線性。除了依據(jù)關(guān)鍵項分離原則對含間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)進行建模以外,給出算例說明一般遞推算法的辨識方法對含間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)辨識的局限性,相應(yīng)的進一步應(yīng)用改進的粒子群算法對間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)參數(shù)進行辨識,并給出相關(guān)仿真和對比結(jié)果。最后,基于上述的辨識結(jié)果,提出使用內(nèi)�？刂品椒�,利用已辨識的系統(tǒng)模型對系統(tǒng)進行控制。依據(jù)設(shè)計的可變狹縫系統(tǒng)的部分參數(shù),設(shè)計了該平臺含死區(qū)的系統(tǒng)算例,并使用內(nèi)�？刂品椒▽ζ溥M行控制仿真,證明了內(nèi)模控制方法對于Wiener-Hammerstein系統(tǒng)良好的控制效果。
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN305.7;TP273
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本文編號：1320368