本文關(guān)鍵詞：基于數(shù)字微鏡器件改進(jìn)的羅曼編碼　出處：《應(yīng)用光學(xué)》2016年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：全息光刻可通過空間光調(diào)制器數(shù)字微鏡器件(DMD)加載計算全息圖構(gòu)建數(shù)字掩膜來實現(xiàn),羅曼編碼是常用的編制計算全息圖的方法,它采用透明矩形孔的高度和位置分別編碼全息圖抽樣單元的幅值和相位。通常,DMD再現(xiàn)此類二元全息圖需合并多個微鏡來表示單個矩形孔,這會大大降低其像素利用率和分辨率。針對這個問題,提出一種改進(jìn)的羅曼編碼,該編碼充分利用DMD的二進(jìn)制脈寬調(diào)制特性,采用灰度值編碼全息圖抽樣單元的幅值,將全息圖的透過率由二元型轉(zhuǎn)換成灰階型,從而有效減少單個抽樣單元所占用的微鏡數(shù)。采用MATLAB編程對改進(jìn)的羅曼編碼和博奇編碼計算全息圖進(jìn)行模擬再現(xiàn)分析,得到改進(jìn)的羅曼編碼衍射效率約是博奇編碼的3倍。以DMD為核心搭建了全息再現(xiàn)實驗,得到改進(jìn)的羅曼編碼衍射效率約是博奇編碼的2倍�？傻贸霾捎酶倪M(jìn)的羅曼編碼可以顯著提高衍射效率。
【作者單位】： 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(91023049)
【分類號】：TN305.7;TN761
【正文快照】： 引言光刻技術(shù)是引領(lǐng)微電子發(fā)展的核心技術(shù)之一,一直是人們關(guān)注的焦點。全息光刻是近年來迅速發(fā)展的一種光刻技術(shù)。全息光刻擁有不受像場和分辨率的限制,不會直接作用襯底,無需真空環(huán)境,記錄速度快等諸多優(yōu)點[1-2]。空間光調(diào)制器DMD具有較高的分辨率、較寬的響應(yīng)范圍以及極快的

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本文編號：1316435