本文關(guān)鍵詞：高增益參量過(guò)程中相干態(tài)和真空態(tài)輸入下的干涉光刻研究　出處：《池州學(xué)院學(xué)報(bào)》2016年06期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 干涉光刻 高增益參量過(guò)程 曝光率 分辨率

【摘要】：利用高增益參量放大器研究相干態(tài)和真空態(tài)輸入下的干涉光刻性能。研究發(fā)現(xiàn):相干態(tài)輸入將降低光刻曝光函數(shù)的分辨率,而輸入相干態(tài)的振幅和相位可以對(duì)干涉條紋可見(jiàn)度進(jìn)行有效調(diào)控,尤其,增強(qiáng)相干光束的強(qiáng)度可以將可見(jiàn)度提高至接近100%。最后,詳細(xì)討論了相干態(tài)輸入下的光刻分辨率未能打破瑞利衍射極限的可能原因。
【作者單位】： 池州學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：安徽省大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)訓(xùn)練計(jì)劃項(xiàng)目(201411306148)
【分類(lèi)號(hào)】：TN722.31
【正文快照】： 1引言半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展使得人們需要特征尺寸越來(lái)越小的集成電路塊,集成密度將直接制約器件的運(yùn)行性能,因而就需要通過(guò)提高印刷術(shù)獲得更大的分辨率,進(jìn)而達(dá)到增加運(yùn)算速率、降低功耗的效用。光刻技術(shù)就是適應(yīng)這一生產(chǎn)需要被廣泛運(yùn)用的印刷術(shù)之一[1-2]。在過(guò)去的幾十年里,集成電

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 彭石安;領(lǐng)頭項(xiàng)相干態(tài)及其非經(jīng)典性[J];量子光學(xué)學(xué)報(bào);1997年02期

2 范洪義,馮洛瑜;相干態(tài): 從玻色子到費(fèi)米子[J];大學(xué)物理;1997年07期

3 路洪,郭光燦;壓縮奇偶相干態(tài)的量子統(tǒng)計(jì)性質(zhì)[J];光子學(xué)報(bào);1998年12期

4 曾愛(ài)華,曾浩生,匡樂(lè)滿;八光子相干態(tài)是類(lèi)虛化態(tài)[J];湖南師范大學(xué)自然科學(xué)學(xué)報(bào);1998年02期

5 曾愛(ài)華,曾浩生;四光子相干態(tài)是類(lèi)虛化態(tài)[J];量子光學(xué)學(xué)報(bào);1998年01期

6 路洪,郭光燦;疊加激發(fā)相干態(tài)的非經(jīng)典性質(zhì)[J];物理學(xué)報(bào);1999年09期

7 陳昌遠(yuǎn),孫東升;正交相干態(tài)的非經(jīng)典特性[J];光子學(xué)報(bào);1998年11期

8 劉鳳敏，，呂其光，馬愛(ài)群，時(shí)維春;領(lǐng)頭項(xiàng)相干態(tài)的振幅平方壓縮特性[J];哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào);1998年03期

9 于國(guó)臣,王連水,薄夫軍,馬中波;領(lǐng)頭項(xiàng)奇偶相干態(tài)的非經(jīng)典特性[J];量子光學(xué)學(xué)報(bào);1998年04期

10 董傳華;奇偶相干態(tài)中測(cè)量相位算符的漲落及其壓縮[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1998年11期

本文編號(hào)：1312969