本文關(guān)鍵詞：石墨烯晶體管工藝新方法獲美國專利授權(quán)

  更多相關(guān)文章： 石墨烯 美國專利 器件工藝 高熱導(dǎo)率 柵長 專用集成電路 截止頻率 自對準(zhǔn) 載流子遷移率 自薄

【摘要】：正中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所專用集成電路國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室石墨烯團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的低損傷自對準(zhǔn)石墨烯晶體管制備工藝獲得美國專利授權(quán)。石墨烯因其超高載流子遷移率、超高熱導(dǎo)率、超薄等優(yōu)異特性,是制作高頻電子器件的理想候選材料,預(yù)測50 nm柵長的石墨烯晶體管截止頻率可超過1 THz。石墨烯器件工藝過程對二維材料石墨烯
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【分類號】：TN32
【正文快照】： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所專用集成電石墨烯因其超高載流子遷移率、超高熱導(dǎo)率、超路國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室石墨烯團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的低損傷自薄等優(yōu)異特性,是制作高頻電子器件的理想候選材對準(zhǔn)石墨烯晶體管制備工藝獲得美國專利授權(quán)。料,預(yù)測50 nm柵長的石墨烯晶體管截止頻率

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;納米中心石墨烯相變研究取得新進(jìn)展[J];電子元件與材料;2009年10期

2 ;石墨烯納米帶制備研究獲新進(jìn)展[J];電子元件與材料;2011年07期

3 張文毓;全識俊;;石墨烯應(yīng)用研究進(jìn)展[J];傳感器世界;2011年05期

4 沈熙磊;;科學(xué)家用石墨烯成功制備出石墨烷[J];半導(dǎo)體信息;2011年05期

5 沈熙磊;;美國研發(fā)新技術(shù)可人工合成高質(zhì)量石墨烯[J];半導(dǎo)體信息;2011年06期

6 吳琪樂;;英科學(xué)家首次將石墨烯變?yōu)榻^緣體[J];半導(dǎo)體信息;2011年06期

7 鄭冬冬;;多國確定人工制造石墨烯指南[J];半導(dǎo)體信息;2012年04期

8 ;英研究顯示“神奇材料”石墨烯可自我修復(fù)[J];電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗(yàn);2012年05期

9 康越;楚增勇;張東玖;張朝陽;;石墨烯衍生材料在憶阻器中的應(yīng)用[J];材料導(dǎo)報(bào);2013年07期

10 江安慶;;石墨烯或?qū)_擊半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)[J];半導(dǎo)體信息;2013年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 成會明;;石墨烯的制備與應(yīng)用探索[A];中國力學(xué)學(xué)會學(xué)術(shù)大會'2009論文摘要集[C];2009年

2 錢文;郝瑞;侯仰龍;;液相剝離制備高質(zhì)量石墨烯及其功能化[A];中國化學(xué)會第27屆學(xué)術(shù)年會第04分會場摘要集[C];2010年

3 張甲;胡平安;王振龍;李樂;;石墨烯制備技術(shù)與應(yīng)用研究的最新進(jìn)展[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集（第3分冊）[C];2010年

4 趙東林;白利忠;謝衛(wèi)剛;沈曾民;;石墨烯的制備及其微波吸收性能研究[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集（第7分冊）[C];2010年

5 沈志剛;李金芝;易敏;;射流空化方法制備石墨烯研究[A];顆粒學(xué)最新進(jìn)展研討會——暨第十屆全國顆粒制備與處理研討會論文集[C];2011年

6 王冕;錢林茂;;石墨烯的微觀摩擦行為研究[A];2011年全國青年摩擦學(xué)與表面工程學(xué)術(shù)會議論文集[C];2011年

7 趙福剛;李維實(shí);;樹枝狀結(jié)構(gòu)功能化石墨烯[A];2011年全國高分子學(xué)術(shù)論文報(bào)告會論文摘要集[C];2011年

8 吳孝松;;碳化硅表面的外延石墨烯[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

9 周震;;后石墨烯和無機(jī)石墨烯材料:計(jì)算與實(shí)驗(yàn)的結(jié)合[A];中國化學(xué)會第28屆學(xué)術(shù)年會第4分會場摘要集[C];2012年

10 周琳;周璐珊;李波;吳迪;彭海琳;劉忠范;;石墨烯光化學(xué)修飾及尺寸效應(yīng)研究[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 姚耀;石墨烯研究取得系列進(jìn)展[N];中國化工報(bào);2009年

2 劉霞;韓用石墨烯制造出柔性透明觸摸屏[N];科技日報(bào);2010年

3 記者 王艷紅;“解密”石墨烯到底有多奇妙[N];新華每日電訊;2010年

4 本報(bào)記者 李好宇 張們捷(實(shí)習(xí)) 特約記者 李季;石墨烯未來應(yīng)用的十大猜想[N];電腦報(bào);2010年

5 證券時報(bào)記者 向南;石墨烯貴過黃金15倍 生產(chǎn)不易炒作先行[N];證券時報(bào);2010年

6 本報(bào)特約撰稿 吳康迪;石墨烯 何以結(jié)緣諾貝爾獎[N];計(jì)算機(jī)世界;2010年

7 記者 謝榮　通訊員 夏永祥 陳海泉 張光杰;石墨烯在泰實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化[N];泰州日報(bào);2010年

8 本報(bào)記者 紀(jì)愛玲;石墨烯：市場未啟 炒作先行[N];中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào);2011年

9 周科競;再說石墨烯的是與非[N];北京商報(bào);2011年

10 王小龍;新型石墨烯材料薄如紙硬如鋼[N];科技日報(bào);2011年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 呂敏;雙層石墨烯的電和磁響應(yīng)[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

2 羅大超;化學(xué)修飾石墨烯的分離與評價(jià)[D];北京化工大學(xué);2011年

3 唐秀之;氧化石墨烯表面功能化修飾[D];北京化工大學(xué);2012年

4 王崇;石墨烯中缺陷修復(fù)機(jī)理的理論研究[D];吉林大學(xué);2013年

5 盛凱旋;石墨烯組裝體的制備及其電化學(xué)應(yīng)用研究[D];清華大學(xué);2013年

6 姜麗麗;石墨烯及其復(fù)合薄膜在電極材料中的研究[D];西南交通大學(xué);2015年

7 姚成立;多級結(jié)構(gòu)石墨烯/無機(jī)非金屬復(fù)合材料的仿生合成及機(jī)理研究[D];安徽大學(xué);2015年

8 伊丁;石墨烯吸附與自旋極化的第一性原理研究[D];山東大學(xué);2015年

9 梁巍;基于石墨烯的氧還原電催化劑的理論計(jì)算研究[D];武漢大學(xué);2014年

10 王義;石墨烯的模板導(dǎo)向制備及在電化學(xué)儲能和腫瘤靶向診療方面的應(yīng)用[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 詹曉偉;碳化硅外延石墨烯以及分子動力學(xué)模擬研究[D];西安電子科技大學(xué);2011年

2 王晨;石墨烯的微觀結(jié)構(gòu)及其對電化學(xué)性能的影響[D];北京化工大學(xué);2011年

3 苗偉;石墨烯制備及其缺陷研究[D];西北大學(xué);2011年

4 蔡宇凱;一種新型結(jié)構(gòu)的石墨烯納米器件的研究[D];南京郵電大學(xué);2012年

5 金麗玲;功能化石墨烯的酶學(xué)效應(yīng)研究[D];蘇州大學(xué);2012年

6 黃凌燕;石墨烯拉伸性能與尺度效應(yīng)的研究[D];華南理工大學(xué);2012年

7 劉汝盟;石墨烯熱振動分析[D];南京航空航天大學(xué);2012年

8 雷軍;碳化硅上石墨烯的制備與表征[D];西安電子科技大學(xué);2012年

9 于金海;石墨烯的非共價(jià)功能化修飾及載藥系統(tǒng)研究[D];青島科技大學(xué);2012年

10 李晶;高分散性石墨烯的制備[D];上海交通大學(xué);2013年

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