本文關(guān)鍵詞：防潛在死鎖的整體式自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)調(diào)度方法

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【摘要】：為有效解決300mm晶圓制造中整體式自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)OHT路徑的潛在死鎖問(wèn)題,提出了基于圖論的死鎖檢測(cè)/解除策略。首先對(duì)路徑的潛在死鎖問(wèn)題進(jìn)行描述,通過(guò)定義鏈和共享點(diǎn)等概念,建立圖論模型,在論證其發(fā)生的充要條件后,指出解除潛在死鎖的可行方法。然后以任務(wù)完成時(shí)間最小為優(yōu)化目標(biāo)建立數(shù)學(xué)模型,通過(guò)對(duì)OHT運(yùn)行路徑上的節(jié)點(diǎn)依次進(jìn)行死鎖檢測(cè)和解除來(lái)確定無(wú)死鎖調(diào)度方案。仿真實(shí)驗(yàn)表明:該方法能夠有效檢測(cè)和解除OHT運(yùn)行路徑上的潛在死鎖,提高晶圓制造系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性和安全性。
【作者單位】： 同濟(jì)大學(xué)機(jī)械與能源工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61273035;71471135)
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： 0引言晶圓制造的復(fù)雜流程和整體式軌道布局的耦合特性使得高空穿梭車(Overhead hoisttransporter,OHT)在物料搬運(yùn)作業(yè)中極易引起路徑死鎖的現(xiàn)象。學(xué)界普遍將路徑死鎖分為直接死鎖和潛在死鎖(Impending deadlock)兩大類,潛在死鎖一旦形成必然會(huì)在有限步后導(dǎo)致直接死鎖,且更加隱

【相似文獻(xiàn)】

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