本文關(guān)鍵詞：基于可重入加工組合設(shè)備的建模與調(diào)度研究

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【摘要】：晶圓加工中越來越廣泛地采用可重構(gòu)的自動(dòng)化組合設(shè)備,其單晶圓加工技術(shù)提高了晶圓制造的生產(chǎn)效率和加工質(zhì)量。介紹了組合設(shè)備的結(jié)構(gòu)特征及其加工過程運(yùn)行的約束條件,由于晶圓重入加工需求的增加,組合設(shè)備的調(diào)度變得更加復(fù)雜�；仡櫫私M合設(shè)備可重入加工過程的建模、性能分析及其調(diào)度等研究工作,分析了重入加工的Petri網(wǎng)建模,調(diào)度和控制方法的優(yōu)劣性,并通過例子闡述了仿真調(diào)度的可行性。提出了組合設(shè)備重入加工運(yùn)行控制的研究方法及未來的研究方向。
【作者單位】： 江西理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(71361014)
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： 引言1晶圓直徑的增大促使晶圓逐漸邁入到“450mm直徑”的時(shí)代,傳統(tǒng)的批量加工技術(shù)難以滿足蝕刻、化學(xué)氣相沉積和快速高溫加工等加工工藝的要求。因此,大直徑的晶圓廣泛地采用自動(dòng)化組合設(shè)備(Cluster Tool)進(jìn)行加工,其單晶圓加工技術(shù)有效地提高了晶圓的生產(chǎn)率和成品率[1]。組合

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1245794