本文關(guān)鍵詞：基于高性能黑硅MEMS熱電堆的激光功率測試方法

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【摘要】：針對(duì)傳統(tǒng)激光功率計(jì)體積龐大、響應(yīng)速度慢且檢測精度難以保證的缺陷,提出了一種基于高性能黑硅MEMS熱電堆的激光功率測試方法。該測試方法利用激光的熱效應(yīng),以CO2激光器為被測激光光源,黑硅MEMS熱電堆探測器為激光探測傳感器。根據(jù)能量轉(zhuǎn)換原理,熱電堆吸收激光輻射的能量轉(zhuǎn)換為自身熱力學(xué)能,熱力學(xué)能以電壓的形式輸入CMOS接口電路。通過TopView2000通用虛擬儀器應(yīng)用軟件采集和處理數(shù)據(jù),獲得激光功率相關(guān)數(shù)據(jù)。在室溫條件下,對(duì)MEMS熱電堆激光功率檢測系統(tǒng)在不同占空比和不同出光時(shí)間的CO2激光照射下,進(jìn)行重復(fù)實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明,在激光輸出占空比為30%、總出光時(shí)間為150 ms條件下,系統(tǒng)熱響應(yīng)時(shí)間為14.92ms,計(jì)算出激光功率值為23.01 W,測量相對(duì)偏差為0.55%,滿足了實(shí)際應(yīng)用中對(duì)激光功率高精度、低成本、低功耗、強(qiáng)便攜性等的需求。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;中北大學(xué)電子測試技術(shù)國防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51375463) 山西省自然科學(xué)基金(2014011021-5)
【分類號(hào)】：TN24;TN215
【正文快照】： 112501-1silicon MEMS thermopile detectorOCIS codes 250.3140;230.0250;230.5160因?yàn)榫哂兴俣瓤臁⒕雀�、距離遠(yuǎn)、不受電磁波干擾、持續(xù)性強(qiáng)等突出優(yōu)點(diǎn),激光技術(shù)被廣泛應(yīng)用于軍事中,涉及激光武器、激光偵察、激光制導(dǎo)、激光通信等諸多領(lǐng)域[1],激光功率的精確測量成為各種

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本文編號(hào)：1211128