本文關(guān)鍵詞：pH調(diào)節(jié)劑對藍(lán)寶石襯底CMP的影響

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【摘要】：化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是固體物質(zhì)表面超精密加工的重要方法,拋光液的p H值是影響藍(lán)寶石襯底CMP過程中化學(xué)反應(yīng)快慢及材料去除速率和表面粗糙度的重要因素之一。重點(diǎn)研究了不同p H調(diào)節(jié)劑對藍(lán)寶石襯底去除速率以及表面狀態(tài)的影響。實(shí)驗(yàn)中分別選用了3種p H調(diào)節(jié)劑:有機(jī)堿(大分子螯合劑)、無機(jī)堿(KOH)和混合堿,并在相同工藝條件下對藍(lán)寶石襯底進(jìn)行CMP。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在拋光液p H值為10時(shí),有機(jī)堿作為p H調(diào)節(jié)劑,去除速率為2.6μm/h,表面粗糙度為0.493 nm;無機(jī)堿作為p H調(diào)節(jié)劑時(shí)去除速率達(dá)到2.9μm/h,表面粗糙度0.336 nm;在混合堿中,螯合劑與固定濃度的KOH比為1∶20(體積比)時(shí),速率為3.23μm/h,表面粗糙度為0.226 nm。用混合堿作為p H調(diào)節(jié)劑可有效實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石襯底的高速去除速率及低表面粗糙度。
【作者單位】： 河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院;天津市電子材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2016ZX02301003-004-007) 河北省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(E2013202247,F2015202267)
【分類號】：TN305.2
【正文快照】： 0引言目前藍(lán)寶石材料因耐腐蝕、耐磨損性和透光性好等特點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于LED襯底和光學(xué)窗口領(lǐng)域,但這依賴于藍(lán)寶石材料超精密加工精度的進(jìn)一步提高[1-3]。國際上藍(lán)寶石襯底的拋光速率約為3μm/h[4-5]。大連理工大學(xué)李樹榮[6]比較了KOH,Na OH,Ca(OH)2和氨水4種無機(jī)堿對拋光速率，

本文編號：1188159