本文關鍵詞：飛秒激光脈沖數(shù)對P型HgCdTe激光打孔成結效果的影響

  更多相關文章： 碲鎘汞 PN結 激光束誘導電流 飛秒激光打孔

【摘要】：飛秒激光對p型Hg Cd Te打孔形成PN結.該實驗基于1 k Hz低重復頻率飛秒激光采用不同脈沖數(shù)在p型Hg Cd Te上打孔形成尺寸不同的微孔結構.實驗發(fā)現(xiàn)脈沖數(shù)是影響成結效果的重要參數(shù).激光誘導電流(LBIC)檢測表明,隨著脈沖數(shù)由單個增至10個,微孔側壁反型層寬度由13.5μm減小到10.5μm.當脈沖數(shù)增大至100個時,微孔LBIC信號曲線已嚴重偏離PN結所對應的正負峰對稱線形,意味著結特性趨于失效.對LBIC曲線擬合表明,單脈沖打孔形成的PN結給出最大的載流子擴散長度,約為17μm,而10個脈沖對應的環(huán)孔PN結擴散長度則減小為12μm.
【作者單位】： 上海大學理學院物理系;中國科學院上海技術物理研究所紅外物理國家重點實驗室;
【基金】：國家自然基金(61474073)~~
【分類號】：TN249
【正文快照】： PACS:81.65.Cf,78.66.Hf引言Hg Cd Te探測器在紅外技術中具有重要地位[1].PN結成結工藝屬于該探測器制備中的關鍵技術.離子刻蝕Hg Cd Te誘導的環(huán)孔PN結是重要成結方法之一,而近來研究發(fā)現(xiàn)飛秒激光對p型Hg Cd Te打孔也會形成類似結構[2-6].對此人們曾研究了飛秒激光功率、聚焦

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉東華;激光打孔[J];激光雜志;1992年03期

2 葛志福;虞鋼;何秀麗;盧國權;李少霞;;激光打孔過程三維瞬態(tài)數(shù)值模擬[J];中國科學:物理學 力學 天文學;2012年08期

3 文湘?zhèn)?;激光打孔技術在拉絲模具制作工藝中的應用研究[J];廣東化工;2013年14期

4 滕文華;劉世杰;沈顯峰;王亞榮;楊家林;;大氣環(huán)境下激光打孔及封焊技術研究[J];應用激光;2013年05期

5 榮烈潤;孫義雁;;國外激光打孔的一些情況[J];激光與光電子學進展;1975年03期

6 ;激光打孔實驗初步小結[J];遼寧大學學報(自然科學版);1976年01期

7 馮繼榮;激光打孔用反遠距物鏡設計[J];四川激光;1983年03期

8 劉淑敏;;國外激光打孔的現(xiàn)狀[J];激光與光電子學進展;1989年08期

9 孫昆,富崇大,甘玉芝,董清泉,金正賢;噴油嘴噴孔的激光打孔[J];光電子·激光;1991年01期

10 王克勤,柯兵,孫X;準光柱聚焦法激光打孔的研究[J];激光雜志;1992年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 孫立飛;韓曉春;柯兵;王克勤;孫X;;精密激光打孔脈沖轉盤調(diào)制及變能量控制[A];第七屆全國電加工學術年會論文集[C];1993年

2 李儒荀;曹偉明;;激光打孔誤差分析及提高打孔質(zhì)量的工藝措施[A];第七屆全國電加工學術年會論文集[C];1993年

3 周錦進;王續(xù)躍;;絕熱發(fā)動機陶瓷缸隔熱板的激光打孔[A];第七屆全國電加工學術年會論文集[C];1993年

4 曹鳳國;張勤儉;劉媛;;集成電路精密引線模具激光微納加工技術[A];2007年中國機械工程學會年會之第12屆全國特種加工學術會議論文集[C];2007年

5 曹鳳國;張勤儉;劉媛;;集成電路精密引線模具激光微納加工技術[A];2007年中國機械工程學會年會論文集[C];2007年

6 何金星;代家紅;;香煙水松紙打孔技術及設備制造技術——激光打孔、激光異形打孔、多單元電子打孔[A];中國造紙學會薄型紙專業(yè)委員會第十三屆技術交流會論文集[C];2007年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 王雪飛;“激光打孔”能長期緩解心絞痛[N];健康報;2006年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 禹東赫;聲控激光打孔技術研究[D];天津大學;2007年

2 陳岱民;碳鋼激光打微孔質(zhì)量控制技術研究[D];長春理工大學;2013年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 阿巴圖(ABATTOUY Mohammed);焦點隨移激光打孔和工件振動輔助激光切割技術研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

2 田瑞生;高速激光打孔加工的技術研究[D];長春理工大學;2008年

3 田梅;小錐度激光打孔技術研究[D];長春理工大學;2006年

4 孫立華;陶瓷激光打孔技術研究[D];長春理工大學;2007年

5 董海云;小錐度激光打孔技術及工藝研究[D];長春理工大學;2004年

6 楊俊華;0Cr18Ni9不銹鋼激光打孔工藝及數(shù)值模擬研究[D];南昌航空大學;2011年

7 邱憲琛;中厚板氧化助熔激光打孔過程數(shù)值仿真與實驗研究[D];上海交通大學;2013年

8 辛鳳蘭;高質(zhì)量激光打孔技術的研究[D];北京工業(yè)大學;2006年

9 周正;雙頭雙光點水松紙激光打孔設備的光路設計[D];華中科技大學;2013年

10 王瑜宏;激光微孔加工過程數(shù)值模擬技術研究[D];長春理工大學;2008年

，

本文編號：1154761