本文關(guān)鍵詞：飛秒激光脈沖數(shù)對P型HgCdTe激光打孔成結(jié)效果的影響

  更多相關(guān)文章： 碲鎘汞 PN結(jié) 激光束誘導(dǎo)電流 飛秒激光打孔

【摘要】：飛秒激光對p型Hg Cd Te打孔形成PN結(jié).該實驗基于1 k Hz低重復(fù)頻率飛秒激光采用不同脈沖數(shù)在p型Hg Cd Te上打孔形成尺寸不同的微孔結(jié)構(gòu).實驗發(fā)現(xiàn)脈沖數(shù)是影響成結(jié)效果的重要參數(shù).激光誘導(dǎo)電流(LBIC)檢測表明,隨著脈沖數(shù)由單個增至10個,微孔側(cè)壁反型層寬度由13.5μm減小到10.5μm.當脈沖數(shù)增大至100個時,微孔LBIC信號曲線已嚴重偏離PN結(jié)所對應(yīng)的正負峰對稱線形,意味著結(jié)特性趨于失效.對LBIC曲線擬合表明,單脈沖打孔形成的PN結(jié)給出最大的載流子擴散長度,約為17μm,而10個脈沖對應(yīng)的環(huán)孔PN結(jié)擴散長度則減小為12μm.
【作者單位】： 上海大學(xué)理學(xué)院物理系;中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外物理國家重點實驗室;
【基金】：國家自然基金(61474073)~~
【分類號】：TN249
【正文快照】： PACS:81.65.Cf,78.66.Hf引言Hg Cd Te探測器在紅外技術(shù)中具有重要地位[1].PN結(jié)成結(jié)工藝屬于該探測器制備中的關(guān)鍵技術(shù).離子刻蝕Hg Cd Te誘導(dǎo)的環(huán)孔PN結(jié)是重要成結(jié)方法之一,而近來研究發(fā)現(xiàn)飛秒激光對p型Hg Cd Te打孔也會形成類似結(jié)構(gòu)[2-6].對此人們曾研究了飛秒激光功率、聚焦

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉東華;激光打孔[J];激光雜志;1992年03期

2 葛志福;虞鋼;何秀麗;盧國權(quán);李少霞;;激光打孔過程三維瞬態(tài)數(shù)值模擬[J];中國科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué);2012年08期

3 文湘?zhèn)?;激光打孔技術(shù)在拉絲模具制作工藝中的應(yīng)用研究[J];廣東化工;2013年14期

4 滕文華;劉世杰;沈顯峰;王亞榮;楊家林;;大氣環(huán)境下激光打孔及封焊技術(shù)研究[J];應(yīng)用激光;2013年05期

5 榮烈潤;孫義雁;;國外激光打孔的一些情況[J];激光與光電子學(xué)進展;1975年03期

6 ;激光打孔實驗初步小結(jié)[J];遼寧大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1976年01期

7 馮繼榮;激光打孔用反遠距物鏡設(shè)計[J];四川激光;1983年03期

8 劉淑敏;;國外激光打孔的現(xiàn)狀[J];激光與光電子學(xué)進展;1989年08期

9 孫昆,富崇大,甘玉芝,董清泉,金正賢;噴油嘴噴孔的激光打孔[J];光電子·激光;1991年01期

10 王克勤,柯兵,孫X;準光柱聚焦法激光打孔的研究[J];激光雜志;1992年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 孫立飛;韓曉春;柯兵;王克勤;孫X;;精密激光打孔脈沖轉(zhuǎn)盤調(diào)制及變能量控制[A];第七屆全國電加工學(xué)術(shù)年會論文集[C];1993年

2 李儒荀;曹偉明;;激光打孔誤差分析及提高打孔質(zhì)量的工藝措施[A];第七屆全國電加工學(xué)術(shù)年會論文集[C];1993年

3 周錦進;王續(xù)躍;;絕熱發(fā)動機陶瓷缸隔熱板的激光打孔[A];第七屆全國電加工學(xué)術(shù)年會論文集[C];1993年

4 曹鳳國;張勤儉;劉媛;;集成電路精密引線模具激光微納加工技術(shù)[A];2007年中國機械工程學(xué)會年會之第12屆全國特種加工學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

5 曹鳳國;張勤儉;劉媛;;集成電路精密引線模具激光微納加工技術(shù)[A];2007年中國機械工程學(xué)會年會論文集[C];2007年

6 何金星;代家紅;;香煙水松紙打孔技術(shù)及設(shè)備制造技術(shù)——激光打孔、激光異形打孔、多單元電子打孔[A];中國造紙學(xué)會薄型紙專業(yè)委員會第十三屆技術(shù)交流會論文集[C];2007年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 王雪飛;“激光打孔”能長期緩解心絞痛[N];健康報;2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 禹東赫;聲控激光打孔技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2007年

2 陳岱民;碳鋼激光打微孔質(zhì)量控制技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 阿巴圖(ABATTOUY Mohammed);焦點隨移激光打孔和工件振動輔助激光切割技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

2 田瑞生;高速激光打孔加工的技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2008年

3 田梅;小錐度激光打孔技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2006年

4 孫立華;陶瓷激光打孔技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2007年

5 董海云;小錐度激光打孔技術(shù)及工藝研究[D];長春理工大學(xué);2004年

6 楊俊華;0Cr18Ni9不銹鋼激光打孔工藝及數(shù)值模擬研究[D];南昌航空大學(xué);2011年

7 邱憲琛;中厚板氧化助熔激光打孔過程數(shù)值仿真與實驗研究[D];上海交通大學(xué);2013年

8 辛鳳蘭;高質(zhì)量激光打孔技術(shù)的研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2006年

9 周正;雙頭雙光點水松紙激光打孔設(shè)備的光路設(shè)計[D];華中科技大學(xué);2013年

10 王瑜宏;激光微孔加工過程數(shù)值模擬技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2008年

，

本文編號：1154761