本文關(guān)鍵詞：積分和二階滑�？刂圃诠饪虣C(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)中的應(yīng)用

  更多相關(guān)文章： 積分滑�？刂� 雙工件臺(tái) 掃描光刻系統(tǒng) 二階滑模控制 自適應(yīng)前饋控制

【摘要】：超精密雙工件臺(tái)系統(tǒng)是光刻機(jī)中最為核心的子系統(tǒng)之一,對(duì)光刻機(jī)運(yùn)行過程的硅片初始對(duì)準(zhǔn)、步進(jìn)掃描以及曝光等操作中起著關(guān)鍵性的作用,其跟蹤定位精度直接影響著光刻機(jī)的分辨率,其系統(tǒng)性能的優(yōu)劣與衡量光刻機(jī)性能的三大指標(biāo)聯(lián)系密切。所以針對(duì)雙工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)的高速度和高精度的指標(biāo)要求,本文主要對(duì)雙工件臺(tái)宏動(dòng)臺(tái)、微動(dòng)臺(tái)以及換臺(tái)過程進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)控制研究。將滑�？刂品椒☉�(yīng)用到了雙工件臺(tái)系統(tǒng)中,使系統(tǒng)的精度和抗擾性都得到了很大提高。首先,針對(duì)雙工件臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理,以及系統(tǒng)的換臺(tái)過程和掃描曝光過程,分析了雙工件臺(tái)系統(tǒng)的控制指標(biāo),并按照其具體要求,對(duì)雙工件臺(tái)單自由度運(yùn)動(dòng)進(jìn)行了軌跡規(guī)劃,最后簡(jiǎn)要介紹了宏、微動(dòng)臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的選型。其次,以雙工件臺(tái)的宏動(dòng)臺(tái)為例,在宏動(dòng)臺(tái)SISO解耦模型的基礎(chǔ)上提出了一種積分滑�？刂品椒�,該方法的優(yōu)點(diǎn)是能夠同時(shí)滿足調(diào)節(jié)時(shí)間和穩(wěn)態(tài)誤差這兩個(gè)重要的性能指標(biāo),提高了控制系統(tǒng)的性能。而為了削弱滑模控制方法的抖振問題,采用邊界層技術(shù)對(duì)滑模項(xiàng)進(jìn)行了改進(jìn),通過仿真與傳統(tǒng)PID控制方法進(jìn)行對(duì)比,證明了積分滑�？刂品椒ㄔ陔p工件臺(tái)系統(tǒng)中的可行性與有效性。再次,雖然采用邊界層方法有效的改善了滑模的抖振效應(yīng),但是卻使得滑�？刂剖チ丝拐饎�(dòng)和抗擾動(dòng)的寶貴特性,對(duì)系統(tǒng)的抗干擾能力和穩(wěn)態(tài)性能都帶來(lái)了影響,所以對(duì)積分滑模方法的魯棒反饋?lái)?xiàng)進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),給出了一種二階滑�？刂品椒�。并根據(jù)滑模控制中前饋控制項(xiàng)所存在的問題,對(duì)前饋控制進(jìn)行了改進(jìn)設(shè)計(jì),通過與積分滑�？刂品椒ㄟM(jìn)行了對(duì)比驗(yàn)證,證明了改進(jìn)方法的優(yōu)越性。最后,對(duì)雙工件臺(tái)控制系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)和搭建,并解決了包括多控制板卡通信以及板卡內(nèi)部通信等一些控制過程中的實(shí)際軟硬件問題,然后在雙工件臺(tái)實(shí)物平臺(tái)上進(jìn)行了永磁直線電機(jī)的控制試驗(yàn),不但達(dá)到了系統(tǒng)的指標(biāo)要求,使得換臺(tái)過程能夠順利完成,更是使得系統(tǒng)性能得到了很大提升。
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN305.7
，

本文編號(hào)：1153627