本文關(guān)鍵詞：金剛石線鋸電解磨削切割多晶硅片的試驗研究

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【摘要】：基于金剛石線鋸切割系統(tǒng),開展了金剛線電解磨削切割多晶硅片試驗。結(jié)果表明:電解磨削復(fù)合加工方法在機械磨削的同時復(fù)合了陽極氧化和腐蝕,在硅片表面產(chǎn)生了機械損傷缺陷和電化學腐蝕缺陷。酸制絨時腐蝕反應(yīng)在兩種類型缺陷處順利進行,形成均勻致密的絨面結(jié)構(gòu),有效降低硅片表面反射率,有利于后續(xù)電池片光電轉(zhuǎn)換效率的提高。
【作者單位】： 南京航空航天大學機電學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51175259)
【分類號】：TN305.1
【正文快照】： 固結(jié)磨料線切割又稱金剛石線鋸切割,它利用電鍍或樹脂結(jié)合等方法,將金剛石顆粒附著在鋼線基體表面制成金剛石線。加工過程中,固結(jié)在鋼線上的金剛石顆粒作為切割刃具,隨著切割線高速運動,持續(xù)進給的工件與切割線之間產(chǎn)生壓力進而實現(xiàn)切割[1-2]。相比于游離磨料線切割,金剛石線

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1 張霞;太陽能硅片電解磨削多線切割遠程監(jiān)控關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京航空航天大學;2015年

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本文編號：1143995