發(fā)布時(shí)間：2017-11-04 11:09

  本文關(guān)鍵詞：高分辨率硅微通道板基體制備技術(shù)

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【摘要】：微通道板是二維電子倍增器,具有高增益、低功耗、長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微光夜視、光電倍增管、X射線探測(cè)等領(lǐng)域。本文研究了高分辨率硅微通道基體的制備技術(shù),探討了硅片的光刻工藝及其影響因素;介紹了硅的各向異性腐蝕機(jī)制,研究了硅誘導(dǎo)坑腐蝕技術(shù);根據(jù)歐姆接觸層制備的研究結(jié)果,對(duì)其工藝進(jìn)行了優(yōu)化;在不同條件下對(duì)硅微通道陣列的形貌進(jìn)行了對(duì)比分析,研究了電化學(xué)腐蝕中溫度、HF濃度對(duì)硅微通道形貌的影響,得出了最佳制備條件。高分辨率硅微通道電化學(xué)腐蝕加工機(jī)理及過程影響因素較多,工藝控制復(fù)雜,通過Comsol軟件對(duì)硅微通道建模模擬,建立仿真模型,確定仿真求解的邊界條件和主要參數(shù),在已有文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,通過對(duì)電化學(xué)腐蝕情況的假設(shè),給出了仿真求解結(jié)果。
【學(xué)位授予單位】：長(zhǎng)春理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN304.12

【相似文獻(xiàn)】

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4 吳柯鑫;硅微通道板化學(xué)機(jī)械拋光及氧化絕緣技術(shù)研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2014年

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8 吳奎;微通道板特性參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2007年

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10 吳俊徐;硅微通道結(jié)構(gòu)的制作工藝研究[D];華東師范大學(xué);2006年

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