本文關(guān)鍵詞：單晶硅微結(jié)構(gòu)表面的制備及其減反射性能

  更多相關(guān)文章： 單晶硅 微結(jié)構(gòu)表面 聚苯乙烯膠體晶體 反應離子刻蝕 等離子體刻蝕 減反射

【摘要】：利用聚苯乙烯膠體微球組裝的單層膠體晶體陣列作為掩模板,分別采用反應離子刻蝕和等離子體刻蝕工藝在晶體硅表面構(gòu)造出不同形態(tài)的微納米結(jié)構(gòu),并研究不同刻蝕方法和不同刻蝕時間對微結(jié)構(gòu)形態(tài)的影響作用。利用分光光度計測試得到微結(jié)構(gòu)表面的反射光譜曲線。結(jié)果表明,在0.35~1.1μm太陽光有效吸收波段,單晶硅材料微結(jié)構(gòu)表面的反射率顯著降低,由于此時材料的透射率為零,材料在該波段的吸收得到有效增強。同時,具有規(guī)則微結(jié)構(gòu)表面的減反射性能比無序微結(jié)構(gòu)表面的減反射性能要更好一些。這為增強單晶硅對太陽能的有效吸收提供了一種簡單可行的方法。
【作者單位】： 陜西理工大學陜西省工業(yè)自動化重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 單晶硅 微結(jié)構(gòu)表面 聚苯乙烯膠體晶體 反應離子刻蝕 等離子體刻蝕 減反射
【基金】：陜西省教育廳科研計劃資助項目(15JK1115) 陜西省科技統(tǒng)籌創(chuàng)新工程計劃資助項目(2014SZS16-K02) 陜西理工大學科研計劃資助項目(SLGKYQD2-28)
【分類號】：TN304.12
【正文快照】： 0引言隨著人類對能源需求量的增大和傳統(tǒng)能源煤、石油、天然氣等不可再生性的矛盾,探索和開發(fā)利用新能源對人類的發(fā)展顯得至關(guān)重要。利用太陽能光伏電池發(fā)電是一種新興的、清潔的可再生能源[1-2]。太陽能光伏電池是通過光電效應或者光化學效應直接把太陽光能轉(zhuǎn)化成電能的裝置[

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3 李順群;柴壽喜;王英紅;高凌霞;;閾值選取對黏土微結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響[J];解放軍理工大學學報(自然科學版);2011年04期

4 李華北,趙杰文;基于Markov隨機場的豬肉糜微結(jié)構(gòu)圖像模擬[J];農(nóng)業(yè)機械學報;2001年02期

5 白金鵬;史鐵林;謝勇君;周明才;;基于頻閃干涉的微結(jié)構(gòu)三維運動測量方法[J];測控技術(shù);2008年06期

6 孫曉雁;沈正祥;童廣德;張錦龍;王占山;;非絕熱近場光學誘導平滑硅表面微結(jié)構(gòu)的電場模擬[J];紅外與激光工程;2014年03期

7 ;[J];;年期

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1 羅志華;崔可銳;周陽;方俊;;皖亳阜高速公路粉土微結(jié)構(gòu)和成分的研究[A];加強地質(zhì)工作促進社會經(jīng)濟和諧發(fā)展——2007年華東六省一市地學科技論壇論文集[C];2007年

2 彭向和;;一種基于微結(jié)構(gòu)損傷的尺度效應分析方法[A];中國力學大會——2013論文摘要集[C];2013年

3 張梅英;;利用掃描電鏡研究土的微結(jié)構(gòu)有關(guān)問題[A];第三次中國電子顯微學會議論文摘要集（二）[C];1983年

4 邵順妹;;化灌巖芯的微結(jié)構(gòu)機力學特征[A];第四屆全國構(gòu)造物理、第二屆全國高溫高壓聯(lián)合學術(shù)討論會論文摘要[C];1989年

5 李榴芬;;珠江三角洲軟土微結(jié)構(gòu)特征[A];2004年度上海市土力學與巖土工程學術(shù)年會論文集[C];2004年

6 戴大臨;文藝;;珙桐(Davidia involucrata Baill)木材導管壁的細微結(jié)構(gòu)特征[A];第三屆全國掃描電子顯微學會議論文集[C];2003年

7 權(quán)國政;陳斌;周杰;孫士濤;馮福偉;;動物股骨生物陶瓷微結(jié)構(gòu)及性能研究[A];2008全國功能材料科技與產(chǎn)業(yè)高層論壇論文集[C];2008年

8 張梅英;趙憲;;泥巖的微結(jié)構(gòu)特征及其工程性質(zhì)[A];第五次全國電子顯微學會議論文摘要集[C];1988年

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1 李萍;微磨削結(jié)構(gòu)陣列表面特征化評價及其功能特性研究[D];華南理工大學;2015年

2 胡凱;MEMS微結(jié)構(gòu)幾何特征提取與評定的方法[D];華中科技大學;2011年

3 陳曉輝;MEMS微結(jié)構(gòu)功能特征分析、評定關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];華中科技大學;2011年

4 李世保;微結(jié)構(gòu)聚合物漫反射材料的設計及成型基礎(chǔ)研究[D];北京化工大學;2013年

5 張海軍;基于FTS的微結(jié)構(gòu)表面金剛石切削加工若干技術(shù)問題研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2010年

6 張雁祥;固體氧化物燃料電池電極微結(jié)構(gòu)的理論研究[D];中國科學技術(shù)大學;2013年

7 黃文峰;湖冰微結(jié)構(gòu)及其對熱、力學參數(shù)影響的研究[D];大連理工大學;2013年

8 盧振;微結(jié)構(gòu)件的注射成形及其組織與性能[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

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1 廖家科;微納結(jié)構(gòu)硅的制備及器件化應用研究[D];電子科技大學;2015年

2 張勇;1200℃燒結(jié)EB-PVD YSZ涂層微結(jié)構(gòu)演變的TEM表征與分析[D];湘潭大學;2015年

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本文編號：1104958