本文關(guān)鍵詞：基于微環(huán)諧振腔的可調(diào)諧硅基反射腔鏡

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【摘要】：針對片上光互連用光源對諧振腔單色性、可調(diào)性的要求,基于互補金屬氧化物半導體技術(shù)和絕緣襯底上的硅材料,設計并制作了一種基于微環(huán)諧振腔的可調(diào)諧硅基反射腔鏡。利用轉(zhuǎn)移矩陣方法分析了該反射腔的性能,發(fā)現(xiàn)該反射腔具有較好的尖銳度和消光比。實驗結(jié)果表明,該反射腔在波長1549nm處反射率可達90%,品質(zhì)因素Q值為3×104,自由光譜范圍(FSR)為9.6nm。通過對微環(huán)諧振腔進行熱光調(diào)制,在0~40.5mW功率范圍內(nèi)實現(xiàn)了在FSR內(nèi)的波長可調(diào)。
【作者單位】： 浙江大學信息與電子工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 光學器件 反射腔 熱調(diào)特性 微環(huán)諧振腔
【基金】：國家973計劃(2013CB632105) 國家自然科學基金(61177055,61307074) 浙江省杰出青年基金(LR15F050002)
【分類號】：TN256
【正文快照】： 近年來,隨著微納技術(shù)的迅速發(fā)展,絕緣硅微納光子器件及其集成成為研究者們關(guān)注的焦點[1-2]�；诮^緣襯底上硅(SOI)材料的硅波導非常適用于高密度光子集成,且制備工藝和現(xiàn)有的微電子互補金屬氧化物半導體(CMOS)標準工藝兼容性高,成為未來光子集成芯片的首選技術(shù)。由于硅和二氧

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本文編號：1104214