本文關(guān)鍵詞：薄膜晶體管中絕緣層的研究現(xiàn)狀與趨勢

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【摘要】：本文主要介紹了絕緣層在薄膜晶體管中的重要作用,總結(jié)了在薄膜晶體管中應(yīng)用的絕緣層材料種類及其特點,介紹了不同絕緣層的制備工藝,以及各種制備工藝的原理與特點。最后,通過分析近幾年有關(guān)薄膜晶體管絕緣層的文獻,介紹了薄膜晶體管在制備過程中遇到的主要問題及當(dāng)前的研究熱點,并對未來薄膜晶體管中絕緣層的制備工藝和絕緣材料的研究方向進行了展望。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)電子工程系TFT-LCD關(guān)鍵材料及技術(shù)國家工程實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜晶體管 溶膠凝膠法 紫外光退火 低溫工藝
【分類號】：TN321.5
【正文快照】： (National Engineering Lab for TFT-LCD Key Materials and TechnologiesDepartment of Electronic Engineering,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China)1引言晶體管是人類20世紀(jì)最偉大的發(fā)明之一,1947年,美國貝爾實驗室由肖克萊、巴丁和布拉頓組成的研究小組

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本文編號：1101699