本文關鍵詞：激光聚焦線掃描法測量KDP晶體坯片的體缺陷

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【摘要】：為了快速準確測量磷酸二氫鉀(KDP)晶體坯片的體缺陷,提出了高速激光聚焦線掃描散射成像方法,并建立了相應的測量系統(tǒng)。研究了該系統(tǒng)的測量原理和圖像采集、圖像處理和體缺陷信息提取方法�；诩す馍⑸浼夹g,結合高速運動裝置對晶體坯片內(nèi)部進行三維掃描,用線陣CCD探測器接收氣泡、包裹物等體缺陷產(chǎn)生的散射光。然后利用折射率匹配液消除粗糙表面帶來的不利影響。最后結合數(shù)字圖像處理技術,對采集的圖像進行實時處理。通過去除背景后與設定閾值比較得到具有體缺陷特征的圖像,再對其進行二值化處理,提取得到體缺陷的位置和尺寸信息。利用該檢測裝置對KDP晶體坯片體缺陷進行了測量,結果顯示其檢測分辨率優(yōu)于40μm,能夠為晶體坯片的精確切割和最大程度的利用提供依據(jù),從而節(jié)省了大量成本。
【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所強激光材料重點實驗室;合肥知常光電科技有限公司;
【關鍵詞】： 磷酸二氫鉀(KDP)晶體 晶體坯片 體缺陷 激光聚焦線掃描 散射測量
【基金】：國家自然科學基金青年科學基金資助項目(No.11602280)
【分類號】：O77;TN249
【正文快照】： 1引言隨著大型高功率激光系統(tǒng)輸出的激光能量越來越大,對光學元件生產(chǎn)加工質(zhì)量的要求也越來越高。其使用的精密光學元件需要有更高的抗損傷能力和更長的壽命[1-2]。然而,光學元件內(nèi)部存在氣泡、鉑金顆粒和其它包裹物等體缺陷,一方面,體缺陷會產(chǎn)生正透鏡或負透鏡的效果,對入射

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本文編號：1083087