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改良西門子法氯硅烷精餾系統(tǒng)工藝優(yōu)化

發(fā)布時間:2017-10-21 12:07

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【摘要】:針對多晶硅生產(chǎn)過程精餾提純系統(tǒng)SiH_2Cl_2累積造成系統(tǒng)穩(wěn)定性差、產(chǎn)品合格率低的現(xiàn)象,通過對粗餾、精餾及還原提純系列塔進行生產(chǎn)工藝優(yōu)化,實現(xiàn)了系統(tǒng)穩(wěn)定高效運行。
【作者單位】: 四川大學(xué)化學(xué)工程學(xué)院;中國東方電氣集團有限公司;
【關(guān)鍵詞】改良西門子法 多晶硅 精餾 SiHCl
【分類號】:TN304.12
【正文快照】: 太陽能光伏產(chǎn)業(yè)作為新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍,在過去十幾年間經(jīng)歷了高速擴張期和產(chǎn)業(yè)整合期,隨著太陽能光伏市場增速持續(xù)放緩,光伏產(chǎn)業(yè)鏈最上游的多晶硅企業(yè),受國際市場的嚴(yán)重影響,也經(jīng)歷了優(yōu)勝劣汰的過程。面對嚴(yán)峻的市場形勢,多晶硅制造企業(yè)仍然需要通過技術(shù)升級,不斷提質(zhì)增效,抵

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1 學(xué)工;;半導(dǎo)體工業(yè)用的氯硅烷的物理特性[J];半導(dǎo)體情報;1973年08期

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1 李福芬;曲慶;楊鐵;喬曉梅;張孝玉;;微量特種氣體的FT-IR定量分析[A];全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會、全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會、全國標(biāo)準(zhǔn)樣品技術(shù)委員會氣體標(biāo)樣工作組第四屆二次聯(lián)合會議及全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分析分會召開一屆二次會議論文集[C];2011年

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1 張雯雯;氯硅烷殘液水解制備二氧化硅并副產(chǎn)鹽酸的工藝研究[D];昆明理工大學(xué);2016年

2 李銀光;混合氯硅烷酸性水解研究[D];昆明理工大學(xué);2016年

3 李建勇;氯硅烷的醇解和水解研究[D];南昌大學(xué);2011年

4 鄧亮;甲基(氫)氯硅烷合成及動力學(xué)研究[D];浙江大學(xué);2006年

5 楊勁;多晶硅生產(chǎn)中氯硅烷殘液的資源化處理與利用[D];天津大學(xué);2013年

6 王國鋒;氯硅烷反歧化反應(yīng)精餾研究及其隔板精餾工藝的建立[D];天津大學(xué);2012年

7 王朋;多晶硅生產(chǎn)中HC1回收與氯硅烷雙效精餾工藝研究[D];湖南大學(xué);2014年

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