本文關(guān)鍵詞：飛秒激光直寫在玻璃內(nèi)部制備多功能集成器件

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【摘要】：飛秒激光脈沖具有極高的峰值功率和極短的脈沖寬度,與物質(zhì)相互作用時呈現(xiàn)出強(qiáng)烈的非線性效應(yīng),使其可以深入透明介質(zhì)內(nèi)部,以超越光學(xué)衍射極限的精度對材料進(jìn)行三維微加工.除此之外,飛秒激光三維直寫技術(shù)具有高度的靈活性,即可以在單一芯片上制備并集成多種不同功能的微納結(jié)構(gòu).這些特性使該技術(shù)迅速發(fā)展成為微制造領(lǐng)域的研究熱點,在微流體、微光學(xué)、光電子學(xué)以及光量子芯片制備與集成等領(lǐng)域表現(xiàn)出廣闊的前景.但還有一些問題限制飛秒激光直寫技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,比如加工通道的尺寸和長度限制、較高的加工表面粗糙度等.針對這些問題,本文重點介紹了在玻璃中制備三維微納流體通道以及高品質(zhì)光學(xué)微腔的最新進(jìn)展.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場激光物理國家重點實驗室;上�？萍即髮W(xué)物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 飛秒激光直寫 微流通道 納流通道 微腔
【基金】：國家重大科學(xué)研究計劃(2014CB921300) 國家自然科學(xué)基金(61275205)資助
【分類號】：TN249
【正文快照】： 在過去的20年間,芯片實驗室(lab on a chip,LOC)技術(shù)經(jīng)歷了迅速的發(fā)展,通過在單一芯片上集成各種功能性微結(jié)構(gòu),LOC器件能實現(xiàn)生物和化學(xué)分析中的各種功能,如進(jìn)樣、預(yù)處理、混合、分離及檢測等,推動生物和化學(xué)分析進(jìn)一步向微型化與自動化邁進(jìn)[1~3].LOC器件通常包含大量的密閉三

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5 魯欣;張U，

本文編號：1060074