本文關(guān)鍵詞：CVD金剛石薄膜錐形陣列微孔激光加工實(shí)驗(yàn)研究

  更多相關(guān)文章： 激光技術(shù) 陣列錐形微孔 光纖激光 CVD金剛石薄膜 微細(xì)加工

【摘要】：采用光纖脈沖激光器對(duì)化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜進(jìn)行了錐形微孔陣列加工,研究了激光掃描速度、掃描次數(shù)和脈沖寬度等參數(shù)對(duì)微孔形狀和尺寸的影響規(guī)律。研究發(fā)現(xiàn),激光掃描速度對(duì)微孔尺寸的影響不明顯。而激光掃描次數(shù)對(duì)微孔出口直徑影響明顯。隨著激光脈寬的增加,微孔深度和出口直徑均增加,但微孔錐度減小。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 陣列錐形微孔 光纖激光 CVD金剛石薄膜 微細(xì)加工
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275096) 廣東省自然科學(xué)基金(2015A030313491) 廣東省科技計(jì)劃(2013B010204025)
【分類(lèi)號(hào)】：TN249
【正文快照】： 金剛石除了擁有極高的硬度,還具有優(yōu)異的物理、化學(xué)性能,如低摩擦系數(shù)、高縱波聲速和極高的熱傳導(dǎo)率及透射率[1-3]。天然金剛石價(jià)格昂貴,很難廣泛應(yīng)用。關(guān)于化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石薄膜的研究已持續(xù)多年,CVD薄膜合成技術(shù)日益趨向成熟[4]。使用CVD法制備的金剛石薄膜的硬度、

【相似文獻(xiàn)】

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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7 張聰聰;摻硼金剛石薄膜的制備及電化學(xué)性能研究[D];天津理工大學(xué);2013年

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10 楊燦;異質(zhì)結(jié)N-ZAO/P-金剛石薄膜電致發(fā)光性能研究[D];上海理工大學(xué);2013年

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本文編號(hào)：1022680