發(fā)布時間：2017-10-12 00:15

  本文關(guān)鍵詞：超短脈沖激光半導(dǎo)體材料退火

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【摘要】：脈沖激光退火技術(shù)從1974年問世以來一直被認為是一種熱處理方式。皮秒范圍內(nèi)的超短脈沖退火可以用熱模型解釋。飛秒或脈寬更短的超短脈沖激光可以直接通過電子激發(fā)來實現(xiàn)晶格結(jié)構(gòu)的改變,在低于熔點的情況下完成退火。超短脈沖激光退火屬于非熱模型退火,是一種新型的退火方式。主要介紹了兩種退火模型的基本原理,概括了超短脈沖激光退火發(fā)展的歷史和現(xiàn)狀,并分析了其未來的研究趨勢。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所強場激光物理國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 飛秒激光 皮秒激光 相變 退火
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11374316)
【分類號】：TN249;TN304
【正文快照】： 傳統(tǒng)退火的一個最主要工藝參數(shù)是最高加熱溫度即退火溫度,大部分合金退火溫度的選擇是基于該合金系的相圖。根據(jù)零件不同的化學(xué)成分和退火工藝,退火可以細分為完全退火、不完全退火、擴散退火、重結(jié)晶退火、球化退火、去除應(yīng)力退火以及穩(wěn)定化退火等。傳統(tǒng)的退火工藝是將材料正

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本文編號：1015576