本文關(guān)鍵詞：飛秒激光加工最新研究進(jìn)展

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【摘要】：飛秒激光作為一種先進(jìn)的加工技術(shù),以其“冷加工”、多光子非線性效應(yīng)、突破衍射極限等特質(zhì)可實(shí)現(xiàn)對任意材料由微納到宏觀尺度復(fù)雜三維零件的精密加工,在微納和精密機(jī)械、微納電子、微納光學(xué)、表面工程、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展露了巨大的市場應(yīng)用前景。文章重點(diǎn)針對近三年來飛秒激光刻蝕、切割、制孔、功能表面制備、體內(nèi)加工和聚合加工的研究進(jìn)展進(jìn)行綜述,并探討了飛秒激光在與材料相互作用機(jī)制、加工精度、加工方式、加工對象等方面面臨的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)激光工程研究院;河北工程大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 飛秒激光 精密加工 刻蝕 功能表面 雙光子吸收
【分類號(hào)】：TN24
【正文快照】： 0前言*飛秒激光與材料作用時(shí),一方面由于脈沖持續(xù)時(shí)間遠(yuǎn)小于材料內(nèi)部受激電子的弛豫時(shí)間,從根本上抑制熱擴(kuò)散,實(shí)現(xiàn)相對意義上的“冷加工”[1-2],大大提高加工精度[3];另一方面,極短的脈寬產(chǎn)生超高光強(qiáng),可誘導(dǎo)電介質(zhì)材料多光子非線性吸收,增強(qiáng)空間分辨的同時(shí)突破衍射極限[4],實(shí)

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2 曾紹群;;飛秒激光的聲光掃描與神經(jīng)活動(dòng)觀測[A];2006年全國強(qiáng)場激光物理會(huì)議論文集[C];2006年

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本文編號(hào)：1014497