本文關(guān)鍵詞：碳含量對(duì)NbVCN薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響

  更多相關(guān)文章： NbVCN薄膜 微觀結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能 摩擦磨損性能

【摘要】：采用磁控濺射法制備了不同C含量的NbVCN薄膜,研究了C含量對(duì)NbVCN薄膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明:四元NbVCN薄膜微觀結(jié)構(gòu)受C含量影響顯著,當(dāng)C含量小于6.3%,薄膜為fcc-NbN+hcp-NbN兩相共存;隨含量的進(jìn)一步升高,薄膜中出現(xiàn)非晶石墨相,此時(shí)薄膜三相共存,為fcc-NbN+hcp-NbN+amorphous-graphite。NbVCN薄膜硬度隨C含量的升高先上升后下降,當(dāng)C含量為6.3%時(shí),薄膜硬度最高,其最高值為29 GPa。室溫下,NbVCN薄膜平均摩擦系數(shù)隨C含量的升高逐漸降低,當(dāng)C含量為15.3%時(shí),薄膜平均摩擦系數(shù)最低,其最低值為0.34;隨C含量的升高,NbVCN薄膜磨損率先降低后升高,當(dāng)C含量為6.3%時(shí),薄膜磨損率達(dá)到最小值,其最小值為1.86×10~(-8)mm~3·N~(-1)mm~(-1)。環(huán)境溫度在200~700℃時(shí),C含量為6.3%的薄膜的平均摩擦系數(shù)隨著溫度的升高逐漸降低,在700C時(shí),薄膜獲得最低摩擦系數(shù),其最低值為0.53;薄膜的磨損率隨溫度的升高逐漸升高。
【作者單位】： 江蘇科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： NbVCN薄膜 微觀結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能 摩擦磨損性能
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51074080) 江蘇省創(chuàng)新計(jì)劃(CXLX13-703)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 過(guò)渡族金屬氮化物(MeN)薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)及良好的耐磨損性能,在刀具、耐磨部件等眾多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1_2]。自I960年用物理氣相沉積法成功制備TiN薄膜以來(lái),氮化物薄膜在工業(yè)領(lǐng)域作為硬質(zhì)保護(hù)涂層發(fā)展迅速[3 — 4]。研究表明NbN薄膜比TiN薄膜在硬度等力學(xué)性能

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