本文關(guān)鍵詞：高精度真空材料放氣測試研究

  更多相關(guān)文章： 真空材料 放氣率 測試方法 極限真空 放氣組分

【摘要】：材料放氣率是評價(jià)真空材料性能的重要參數(shù)。高精度真空材料放氣測試系統(tǒng)集成了定容升壓法、小孔流導(dǎo)法和雙通道轉(zhuǎn)換法三種材料放氣率測試方法。其獨(dú)特的系統(tǒng)設(shè)計(jì)與加工并配備先進(jìn)的泵閥計(jì)組件,使系統(tǒng)獲得無污染清潔的超高真空,極限真空度最低達(dá)6.8×10~(-9)Pa。低的本底真空進(jìn)一步降低了系統(tǒng)的放氣率測量下限,三種方法的測量下限依次可達(dá):6.20×10~(-12),2.90×10~(-12)和2.78×10~(-12)Pa·m~3/(s·cm~2)。針對三種方法,對應(yīng)選取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不銹鋼作為樣品,測試了不同時(shí)間的放氣率。測試結(jié)果表明:三類樣品10 h內(nèi)的總放氣率分別在10~(-8),10~(-11)和10-12Pa·m~3/(s·cm~2)數(shù)量級,對應(yīng)的最大測量不確定度分別為9.4%,12.5%和13.8%。結(jié)合四極質(zhì)譜計(jì),進(jìn)一步獲得樣品的放氣組分和PTFE各組分的放氣分率,總放氣率和放氣分率均隨抽氣時(shí)間的增加而下降。
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電研究院;北京市準(zhǔn)分子激光工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 真空材料 放氣率 測試方法 極限真空 放氣組分
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)(2012ZX02702001)
【分類號】：TB302
【正文快照】： 任何固體材料在大氣環(huán)境下都會溶解和吸附一些氣體,當(dāng)材料置于真空中時(shí)就會因解溶、解吸而放氣[1]。真空腔室的真空獲得時(shí)間、極限真空和殘余氣體組分往往取決于腔室材料的放氣特性[2-3]。作為材料的真空性能評價(jià)參數(shù),材料放氣率指真空中的材料在一定溫度下單位時(shí)間從單位面積

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 曾祥坡;張滌新;馮焱;成永軍;趙瀾;盧耀文;;小孔流導(dǎo)法測量材料放氣率研究[J];真空;2010年03期

2 董猛;馮焱;成永軍;盛學(xué)民;趙瀾;王永軍;;材料在真空環(huán)境下放氣的測試技術(shù)研究[J];真空與低溫;2014年01期

3 ;[J];;年期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 鄭華;;陶瓷材料放氣特性分析[A];中國電子學(xué)會真空電子學(xué)分會第十三屆學(xué)術(shù)年會論文集（上）[C];2001年

2 董猛;馮焱;盛學(xué)民;成永軍;孫雯君;馬奔;;雙通道氣路轉(zhuǎn)換法材料放氣率測試研究[A];中國真空學(xué)會2012學(xué)術(shù)年會論文摘要集[C];2012年

3 馮焱;董猛;盛學(xué)民;成永軍;趙瀾;張瑞芳;;真空材料放氣率測試裝置性能實(shí)驗(yàn)研究[A];中國真空學(xué)會2012學(xué)術(shù)年會論文摘要集[C];2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 趙雪龍;磁絕緣線振蕩器（MILO）材料放氣特性及保真空壽命研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

，

本文編號：955104