本文關(guān)鍵詞：薄膜材料熱物性及其測(cè)試新裝置的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

ADISSERTATION TOSHANGHAIJIAOTONG SUBMITTED THEDE Ⅺ之EEOFDOCTOROF FOR RE跚M柵0N’I田哐唧剮M0唧剛cAL APPARATUS 糾隨卯吲唧SAND刪ME觸江刪G 酬階壓兄o．舯圃哪rFoR．I．】田嘴網(wǎng)吣 CaiAn Author： Advisor：Prof．Chen Jiang-ping Prof．Xi Tong-geng ofmaterials Speciality：Thermophysics ofMechanical School Engineering， Jiao University Tong Shanghai 2012 December ofChina Foundation NaturalScience 7 National No．座機(jī)電話(huà)號(hào)碼 Project supportedby 附件四 上海交通大學(xué) 學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明 本人鄭重聲明：所星交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立 進(jìn)行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引甩的內(nèi)容外，本論文不 包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的作品戚果。對(duì)本文的研究 做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意 識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。 、／ 々 洳 學(xué)位論文作者簽名：層孓辟 目期：立-，z年rz月’蓉曰 豫件五 上海交通大學(xué) 學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū) 本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，同 意學(xué)校保留并向國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許 論文被查閱和借閱。本人授權(quán)上海交通大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或 j 部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制 手段保存和匯編本學(xué)位論文。 保密口，在j解密后適用本授權(quán)書(shū)。 本學(xué)位論文屬于 不保密√。 請(qǐng)?jiān)谝陨戏娇騼?nèi)打“√" 學(xué)位論文作者簽名： ◆聚 涉， 指剝嗽：卻1 囂期：≥。，二年；二月，芬曰 日期：洲、，年．。月t孑日 薄膜材料熱物性及其測(cè)試新裝置的研究 摘要 近二十年來(lái)，隨著納米技術(shù)、微電子技術(shù)和微電子機(jī)械系-統(tǒng) MEMS 等許多新興 技術(shù)的迅速發(fā)展，材料研

  本文關(guān)鍵詞：薄膜材料熱物性及其測(cè)試新裝置的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。