本文關鍵詞：薄膜材料熱物性及其測試新裝置的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

ADISSERTATION TOSHANGHAIJIAOTONG SUBMITTED THEDE Ⅺ之EEOFDOCTOROF FOR RE跚M柵0N’I田哐唧剮M0唧剛cAL APPARATUS 糾隨卯吲唧SAND刪ME觸江刪G 酬階壓兄o．舯圃哪rFoR．I．】田嘴網(wǎng)吣 CaiAn Author： Advisor：Prof．Chen Jiang-ping Prof．Xi Tong-geng ofmaterials Speciality：Thermophysics ofMechanical School Engineering， Jiao University Tong Shanghai 2012 December ofChina Foundation NaturalScience 7 National No．座機電話號碼 Project supportedby 附件四 上海交通大學 學位論文原創(chuàng)性聲明 本人鄭重聲明：所星交的學位論文，是本人在導師的指導下，獨立 進行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引甩的內(nèi)容外，本論文不 包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品戚果。對本文的研究 做出重要貢獻的個人和集體，，均已在文中以明確方式標明。本人完全意 識到本聲明的法律結果由本人承擔。 、／ 々 洳 學位論文作者簽名：層孓辟 目期：立-，z年rz月’蓉曰 豫件五 上海交通大學 學位論文版權使用授權書 本學位論文作者完全了解學校有關保留、使用學位論文的規(guī)定，同 意學校保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和電子版，允許 論文被查閱和借閱。本人授權上海交通大學可以將本學位論文的全部或 j 部分內(nèi)容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復制 手段保存和匯編本學位論文。 保密口，在j解密后適用本授權書。 本學位論文屬于 不保密√。 請在以上方框內(nèi)打“√" 學位論文作者簽名： ◆聚 涉， 指剝嗽：卻1 囂期：≥。，二年；二月，芬曰 日期：洲、，年．。月t孑日 薄膜材料熱物性及其測試新裝置的研究 摘要 近二十年來，隨著納米技術、微電子技術和微電子機械系-統(tǒng) MEMS 等許多新興 技術的迅速發(fā)展，材料研

  本文關鍵詞：薄膜材料熱物性及其測試新裝置的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。