本文關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積法制備納微ZnO的實(shí)驗(yàn)和模擬研究進(jìn)展

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【摘要】：納/微氧化鋅材料性能優(yōu)良,用途廣泛,制備方法較多,其中化學(xué)氣相沉積法(CVD)是較常用的方法之一。詳細(xì)介紹了CVD方法制備納米氧化鋅的主要影響因素,概述了計(jì)算流體動力學(xué)(CFD)模擬在化學(xué)氣相沉積法方面的應(yīng)用和研究現(xiàn)狀,并指出應(yīng)該采用實(shí)驗(yàn)研究和計(jì)算模擬相結(jié)合的方法進(jìn)行研究,利用計(jì)算模擬指導(dǎo)實(shí)驗(yàn),從而實(shí)現(xiàn)納微結(jié)構(gòu)的可控生長。
【作者單位】： 唐山學(xué)院環(huán)境與化學(xué)工程系;唐山市微納米材料制備及應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院過程工程研究所中國科學(xué)院綠色過程與工程重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;低碳清潔能源研究所;中國科學(xué)院過程工程研究所多相復(fù)雜系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 納微結(jié)構(gòu)氧化鋅 化學(xué)氣相沉積 局部氣氛 數(shù)值模擬
【基金】：國家自然科學(xué)基金(20976182) 唐山市科技計(jì)劃項(xiàng)目(14130283a) 唐山學(xué)院博士創(chuàng)新基金項(xiàng)目(tsxybc201404)
【分類號】：TB383.1;TQ132.41
【正文快照】： 0引言ZnO是一種優(yōu)良的半導(dǎo)體材料,具有特殊的光電、壓電、焦熱電和熱傳導(dǎo)性能,且具有生物適應(yīng)性和安全性等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用范圍廣泛。納微ZnO材料的主要制備方法可分為液相法和氣相法兩大類。其中液相法包括溶膠凝膠法、熱液合成法和電沉積法等。氣相法包括化學(xué)氣相沉積(Chemical va

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