Eu離子摻雜的氧化銦、氧化錫納米帶氣敏特性研究
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【摘要】:在金屬氧化物半導(dǎo)體材料中,氧化銦和氧化錫都屬于一種n型金屬氧化物半導(dǎo)體材料,擁有較大的禁帶寬度,分別為2.9eV和3.6eV。在不同條件下它們都具有良好的化學(xué)、熱力學(xué)穩(wěn)定性及氣敏特性,被廣泛應(yīng)用于傳感器領(lǐng)域,以檢測易燃易爆、有毒氣體等。而納米帶具有較大的體表面積比、良好的晶體結(jié)構(gòu)和電子輸運性質(zhì),使得納米帶在氣體傳感器應(yīng)用方面有突出的表現(xiàn)。為了獲得更高的氣敏響應(yīng)和氣敏選擇性,摻雜稀土元素,利用其特殊的物理化學(xué)性質(zhì)及催化特性,是實現(xiàn)這一目的的有效途徑。目前,對銪元素摻雜納米材料的研究都集中在它們的形態(tài)或光學(xué)特征的研究,研究銪摻雜氧化銦和氧化錫單根納米帶傳感器的研究還未見報告,對其氣敏特性進行系統(tǒng)的研究具有重要的應(yīng)用價值。本文使用熱蒸發(fā)法分別制備了純凈氧化銦和氧化錫以及銪摻雜的氧化銦和氧化錫納米帶,利用一系列的儀器對獲得的納米帶進行了形貌、微結(jié)構(gòu)以及成分組成的表征,并研究其生長機理。在此基礎(chǔ)上,利用雙離子束沉積系統(tǒng)制備單根納米帶傳感器,然后研究傳感器的氣敏響應(yīng)特性。實驗發(fā)現(xiàn),所得的四種納米材料擁有規(guī)則的形狀,光滑的表面以及極薄的厚度,且銪摻雜的納米帶寬度要比純凈納米帶大。測試結(jié)果表明:銪摻雜氧化銦傳感器在260°C時對100ppm濃度的硫化氫響應(yīng)為6.15,是純凈氧化銦傳感器的響應(yīng)(1.77)的3.47倍;單根銪摻雜氧化錫傳感器在210°C時對100ppm濃度的丙酮的響應(yīng)為8.56,是純凈氧化銦傳感器響應(yīng)(1.36)的6.29倍。所測試的傳感器對氣體的響應(yīng)恢復(fù)時間約為15s,而且電阻在實驗結(jié)束后均能恢復(fù)初始值,表明傳感器具有良好的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。比較所測試的氣敏傳感器的氣敏性能,發(fā)現(xiàn)銪摻雜極大的提升了氧化銦和氧化錫納米帶的氣敏性質(zhì)。而銪摻雜氧化銦和氧化錫傳感器分別具備檢測硫化氫和丙酮氣體的能力,為有毒有害氣體的檢測提供新的材料和器件。
【關(guān)鍵詞】:銪摻雜 氧化銦納米帶 氧化錫納米帶 氣體傳感器
【學(xué)位授予單位】:云南師范大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號】:TB383.1;TN304.21
【目錄】:
- 摘要3-4
- Abstract4-10
- 第1章 緒論10-27
- 1.1 納米材料概論10
- 1.2 納米材料的發(fā)展10-11
- 1.3 納米材料的分類11-15
- 1.3.1 根據(jù)納米材料的屬性分類11-13
- 1.3.2 根據(jù)納米材料的功能分類13-14
- 1.3.3 根據(jù)納米材料的形態(tài)分類14-15
- 1.3.4 根據(jù)納米材料的來源分類15
- 1.4 納米材料的性能15-17
- 1.4.1 小尺寸效應(yīng)16
- 1.4.2 表面效應(yīng)16
- 1.4.3 量子隧穿效應(yīng)16
- 1.4.4 介電限域效應(yīng)16-17
- 1.5 納米材料的制備17-19
- 1.5.1 氣相法17-18
- 1.5.2 液相法18
- 1.5.3 固相法18-19
- 1.6 納米材料的應(yīng)用19-22
- 1.6.1 環(huán)境產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用20
- 1.6.2 生物醫(yī)學(xué)的應(yīng)用20
- 1.6.3 能源產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用20-21
- 1.6.4 信息產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用21
- 1.6.5 化工產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用21-22
- 1.7 氣體傳感器22-24
- 1.7.1 氣體傳感器簡介22
- 1.7.2 氣體傳感器分類22-23
- 1.7.3 半導(dǎo)體氣敏傳感器23-24
- 1.8 本文的研究目的及內(nèi)容24-27
- 1.8.1 研究目的24-25
- 1.8.2 研究內(nèi)容25-27
- 第2章 氧化銦納米帶的制備及性能研究27-41
- 2.1 引言27-28
- 2.1.1 研究意義27-28
- 2.1.2 研究內(nèi)容28
- 2.2 氧化銦納米帶的制備28-31
- 2.2.1 實驗設(shè)備28-29
- 2.2.2 實驗方法29-30
- 2.2.3 實驗生長機理30-31
- 2.3 氧化銦納米帶的表征31-34
- 2.3.1 形貌的表征32
- 2.3.2 微結(jié)構(gòu)的表征32-33
- 2.3.3 成分的表征33-34
- 2.4 氧化銦納米帶的性能34-39
- 2.4.1 單根納米帶傳感器34-35
- 2.4.2 傳感器檢測設(shè)備35
- 2.4.3 傳感器電學(xué)性質(zhì)35-36
- 2.4.4 傳感器響應(yīng)度36-37
- 2.4.5 傳感器響應(yīng)恢復(fù)時間37-38
- 2.4.6 傳感器理論閾值38-39
- 2.4.7 傳感器工作機理39
- 2.5 本章總結(jié)39-41
- 第3章 Eu離子摻雜氧化銦納米帶的制備及性能研究41-50
- 3.1 引言41
- 3.1.1 研究意義41
- 3.1.2 研究內(nèi)容41
- 3.2 Eu~(3+)摻雜氧化銦納米帶的制備41-42
- 3.3 Eu~(3+)摻雜氧化銦納米帶的表征42-44
- 3.3.1 形貌的表征42
- 3.3.2 微結(jié)構(gòu)的表征42-43
- 3.3.3 成分的表征43-44
- 3.4 Eu~(3+)摻雜氧化銦納米帶的性能44-48
- 3.4.1 傳感器電學(xué)性質(zhì)45
- 3.4.2 傳感器響應(yīng)度45-46
- 3.4.3 傳感器響應(yīng)恢復(fù)時間46-47
- 3.4.4 傳感器理論閾值47
- 3.4.5 Eu~(3+)對氣敏性能的提升機理47-48
- 3.5 本章總結(jié)48-50
- 第4章 Eu離子摻雜氧化錫納米帶的制備及性能研究50-62
- 4.1 引言50-51
- 4.1.1 研究意義50-51
- 4.1.2 研究內(nèi)容51
- 4.2 Eu~(3+)摻雜氧化錫納米帶的制備51
- 4.3 Eu~(3+)摻雜氧化錫納米帶的表征51-56
- 4.3.1 形貌的表征52-53
- 4.3.2 微結(jié)構(gòu)的表征53-54
- 4.3.3 成分的表征54-56
- 4.4 Eu~(3+)摻雜氧化錫納米帶的性能56-61
- 4.4.1 傳感器電學(xué)性質(zhì)57-58
- 4.4.2 傳感器響應(yīng)度58-59
- 4.4.3 傳感器響應(yīng)恢復(fù)時間59
- 4.4.4 傳感器理論閾值59-60
- 4.4.5 傳感器工作機理60-61
- 4.5 本章總結(jié)61-62
- 第5章 論文總結(jié)與研究設(shè)想62-65
- 5.1 論文總結(jié)62-64
- 5.2 研究設(shè)想64-65
- 參考文獻65-72
- 攻讀學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和研究成果72-73
- 致謝73
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