發(fā)布時間：2017-09-01 04:49

  本文關(guān)鍵詞：用β二酮類金屬有機(jī)前驅(qū)體原子層沉積金屬薄膜

  更多相關(guān)文章： β二酮類金屬有機(jī)前驅(qū)體 原子層沉積 金屬薄膜

【摘要】：在現(xiàn)代納米科技中,三維共形沉積金屬薄膜或金屬納米結(jié)構(gòu),在微電子、光電子、磁存儲和催化等多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。本文以β二酮類金屬有機(jī)前驅(qū)體(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子層沉積(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉積貴金屬(Ir、Pd、Pt)和過渡金屬(Cu)。采取X射線衍射(XRD)、能譜測試(EDS)、X射線電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)等手段對金屬薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌進(jìn)行研究。結(jié)果表明,沉積在襯底上的Ir、Pt均為金屬單質(zhì)而Cu和Pd中含有一定量的氧化物和硅化物,可能由于鈀粒子的擴(kuò)散形成硅化物和銅暴露空氣中被氧化的原因。通過對這類β二酮類金屬有機(jī)前驅(qū)體沉積金屬薄膜過程的研究,可以發(fā)現(xiàn)其中的共通性,并將其拓展到其他金屬薄膜的沉積。
【作者單位】： 山東科技大學(xué)材料學(xué)院;中科院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心;
【關(guān)鍵詞】： β二酮類金屬有機(jī)前驅(qū)體 原子層沉積 金屬薄膜
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0前言 近年來,貴金屬和過渡金屬由于具有某些獨特和卓越的物理化學(xué)特性,如高熔點、高化學(xué)穩(wěn)定性、高強度、良好的延展性、抗氧化性、耐腐蝕性、高催化活性以及良好的導(dǎo)電性,而廣泛應(yīng)用于微電子[1-3]、光學(xué)[4]、電極材料[5]、燃料電池[6-7]、氣敏元件[8]和航空航天等高新技術(shù)

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本文編號：770034