本文關(guān)鍵詞：微波化學(xué)氣相沉積制備氧化鋁薄膜及鈍化性能研究

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【摘要】：AlO_x薄膜作為高效太陽(yáng)能電池中P層鈍化薄膜引起了光伏龍頭企業(yè)的關(guān)注。本文利用最新研發(fā)的微波等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(MW-PECVD)系統(tǒng),在單晶硅基體上用不同微波功率和生長(zhǎng)溫度制備氧化鋁膜層樣品,并通過(guò)掃描電鏡、SE800橢偏儀和WT2000少子壽命測(cè)量?jī)x對(duì)薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉積速度、鈍化性能進(jìn)行分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,LMW-PECVD制備的AlO_x薄膜沉積速度快且薄膜質(zhì)量高,適用于大規(guī)模企業(yè)生產(chǎn)。此外,微波功率和生長(zhǎng)溫度都對(duì)AlO_x薄膜的鈍化性能有著顯著的影響。
【作者單位】： 東北大學(xué)機(jī)械及自動(dòng)化學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 線性微波化學(xué)氣相沉積 氧化鋁薄膜 少子壽命 微波功率 溫度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(50704012) 遼寧省博士啟動(dòng)基金資助基金(20061017)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 晶硅電池表面鈍化對(duì)于制備高效穩(wěn)定的太陽(yáng)能電池是一個(gè)重要環(huán)節(jié),特別是隨著硅片厚度越來(lái)越薄,晶硅鈍化更為重要。目前,由于氮化硅薄膜具有優(yōu)異的鈍化性能而被晶硅電池用作前表面鈍化而廣泛使用,但電池背面鈍化較為復(fù)雜,人們嘗試了多種鈍化薄膜,如熱CVD生長(zhǎng)Si O2,化學(xué)氣相生長(zhǎng)S，

本文編號(hào)：760206