本文關(guān)鍵詞：基于靈敏度分析的一維納米結(jié)構(gòu)光學(xué)散射測(cè)量條件優(yōu)化配置

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)散射測(cè)量 靈敏度 測(cè)量配置 精度

【摘要】：在光學(xué)散射測(cè)量中,除了實(shí)際測(cè)量光譜的質(zhì)量外,模型的輸出光譜對(duì)待測(cè)納米結(jié)構(gòu)參數(shù)的靈敏度也對(duì)最終測(cè)量結(jié)果的精度具有重大影響.由于不同的測(cè)量配置(入射波長(zhǎng)、入射角和方位角的組合)下,納米結(jié)構(gòu)參數(shù)的靈敏度會(huì)不同,因此提出了一種基于靈敏度分析的測(cè)量條件優(yōu)化配置方法來改善待測(cè)參數(shù)的靈敏度,以實(shí)現(xiàn)更高精度的納米結(jié)構(gòu)測(cè)量.實(shí)驗(yàn)表明,在理論預(yù)估的最優(yōu)測(cè)量配置下,一維納米結(jié)構(gòu)所有待測(cè)參數(shù)的測(cè)量精確最優(yōu),驗(yàn)證了其有效性.
【作者單位】： 華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)散射測(cè)量 靈敏度 測(cè)量配置 精度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51475191和51405172) 國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2011YQ160002) 中國(guó)博士后科學(xué)基金(2014M560607和2015T80791) 教育部長(zhǎng)江學(xué)者創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)(IRT13017)~~
【分類號(hào)】：O433.1;TB383.1
【正文快照】： PACS:42.25.Fx,06.20.Dk引言納米制造是指產(chǎn)品特征尺寸為納米量級(jí)的制造技術(shù),即特征尺寸在100 nm以內(nèi)的制造技術(shù).為了實(shí)現(xiàn)納米制造工藝的可操縱性、可預(yù)測(cè)性、可重復(fù)性和可擴(kuò)展性,保證基于納米科技的產(chǎn)品滿足可靠性、一致性、經(jīng)濟(jì)性及規(guī)�；a(chǎn)等多方面的要求,在納米制造過程

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1 解挺;焦明華;俞建衛(wèi);吳玉程;張立德;;準(zhǔn)一維納米材料制備方法的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)[J];材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào);2006年02期

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1 曾春來;SnO_2一維納米結(jié)構(gòu)的控制生長(zhǎng)與表征[D];湖南師范大學(xué);2007年

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本文編號(hào)：725406