本文關(guān)鍵詞：銻化物二類超晶格熱電材料:能帶結(jié)構(gòu)、熱電性能、制備與測(cè)試

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【摘要】：熱電器件由于結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好、無污染等優(yōu)點(diǎn),在微電子、能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。探索具有高熱電優(yōu)值(ZT)的新材料是近些年來的研究熱點(diǎn)。超晶格材料由于獨(dú)特的量子限制效應(yīng)和聲子界面散射,ZT值比塊體材料大幅度提高。而銻化物二類超晶格與傳統(tǒng)超晶格不同,其禁帶呈錯(cuò)開狀,由此又可以帶來熱電性能新的變化。闡述了銻化物二類超晶格的能帶結(jié)構(gòu)以及能夠獲得高ZT值的優(yōu)勢(shì),介紹了其熱電機(jī)理和研究進(jìn)展,以及當(dāng)前該類超晶格的制備工藝和測(cè)試方法。
【作者單位】： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成技術(shù)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 銻化物 二類超晶格 熱電材料 熱電優(yōu)值
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61474115;61274066)
【分類號(hào)】：TB34
【正文快照】： 0引言隨著微電子器件向小型化、高集成度的方向發(fā)展,其工作過程中的散熱問題成為新的難題。而熱電器件具有結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好、無污染、無噪聲以及可與微電子器件集成等優(yōu)點(diǎn),逐漸成為進(jìn)行熱調(diào)控的選擇之一[1,2]。合理利用熱電材料及其器件,既解決了熱點(diǎn)問題,提高了器件的可靠

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1 韋光宇;彭瑞伍;;Ⅲ-V 族銻化物半導(dǎo)體材料[J];廣東有色金屬學(xué)報(bào);1992年02期

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本文編號(hào)：694651