本文關鍵詞：C含量對WAlCN復合膜的微結構、力學性能和摩擦磨損性能的影響

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【摘要】：采用磁控濺射物理氣相沉積法沉積了不同含C量(0~20.7%(原子比))的WAlCN復合膜。利用X射線衍射和Raman表征了WAlCN膜的微結構;用掃描電鏡、壓痕儀和高溫摩擦磨損儀等研究了其力學和摩擦磨損性能。結果表明:復合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相構成,呈(200)擇優(yōu)生長。當WAlCN復合膜含C量增加時,它的硬度值會先升高后降低,當復合膜含C量達到11.2%時硬度出現(xiàn)最大值,約為37.7 GPa。加入C元素減少了WAlCN膜的摩擦系數(shù),而其磨損率則先減小后增大。當WAlCN復合膜含C量達到20.7%時,摩擦系數(shù)值最小為0.25,此時磨損率為1.44×10~(-8)mm~3/N·mm。總之,加入C元素后顯著提高了WAlCN膜的綜合性能。
【作者單位】： 天津大學材料科學與工程學院;天津市先進連接技術重點實驗室;
【關鍵詞】： 磁控濺射 WAlCN復合膜 微結構 力學性能 摩擦性能
【基金】：天津市自然科學基金項目(12JCYBJ12300) 國家自然科學基金項目(51375332)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 伴隨著工業(yè)技術和科學的不斷進步,特別是當出現(xiàn)了一批以干切削、微潤滑切削和高速切削等先進的切削方法后,對刀具提出了更嚴苛的使用需求。傳統(tǒng)的涂層局限性較大,根本無法滿足其要求,所以找到一種具有高熱穩(wěn)定性,高硬度和低摩擦系數(shù)等優(yōu)點的材料顯得十分重要,而超硬納米結構薄

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本文編號：690121