本文關(guān)鍵詞：聚焦離子束加工中的缺陷及成因

  更多相關(guān)文章： 聚焦離子束 加工缺陷 傾斜側(cè)壁 窗簾結(jié)構(gòu) 溝道效應(yīng)

【摘要】：聚焦離子束技術(shù)作為一種直接加工微納米結(jié)構(gòu)的工具,在很多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。但在實(shí)際應(yīng)用中,它并不能總是如人所愿,加工出的結(jié)構(gòu)有時(shí)會(huì)產(chǎn)生缺陷。如在切割截面時(shí)會(huì)形成傾斜側(cè)壁、窗簾結(jié)構(gòu);在刻蝕平面結(jié)構(gòu)時(shí)形成非均勻的底面;在利用氣體注入系統(tǒng)誘導(dǎo)沉積生長(zhǎng)結(jié)構(gòu)后殘留污染物等。本文將剖析聚焦離子束加工中這些常見(jiàn)缺陷產(chǎn)生的根源,探討減輕或消除這些缺陷的方法。
【作者單位】： 北京大學(xué)量子材料科學(xué)中心;
【關(guān)鍵詞】： 聚焦離子束 加工缺陷 傾斜側(cè)壁 窗簾結(jié)構(gòu) 溝道效應(yīng)
【分類號(hào)】：TB383.1
【正文快照】： 聚焦離子束(FIB)是近些年發(fā)展起來(lái)的一種微納米加工技術(shù),其基本原理與掃描電子顯微鏡(SEM)類似。它采用離子源發(fā)射的離子束經(jīng)過(guò)加速聚焦后作為入射束,由于離子與固體相互作用可以激發(fā)二次電子和二次離子,因此FIB與SEM一樣可以用于獲取樣品表面的形貌圖像;高能量的離子與固體表

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 XHOFFER Chris;DHONT Annick;WILLEMS Annick;;聚焦離子束在金屬研究中的應(yīng)用[J];冶金分析;2012年07期

2 榮烈潤(rùn);;聚焦離子束加工技術(shù)及其應(yīng)用[J];金屬加工(冷加工);2013年23期

3 周偉敏;高性能聚焦離子束技術(shù)的應(yīng)用[J];理化檢驗(yàn)(物理分冊(cè));2004年09期

4 章壯;;聚焦離子束原理及其工業(yè)應(yīng)用[J];內(nèi)江科技;2008年01期

5 徐宗偉;兀偉;張少婧;趙兵;;聚焦離子束技術(shù)制造金剛石切削具的研究[J];中國(guó)材料進(jìn)展;2013年12期

6 張繼成;唐永建;吳衛(wèi)東;;聚焦離子束系統(tǒng)在微米/納米加工技術(shù)中的應(yīng)用[J];材料導(dǎo)報(bào);2006年S2期

7 田琳;付琴琴;單智偉;;聚焦離子束在微納尺度材料力學(xué)性能研究中的應(yīng)用[J];中國(guó)材料進(jìn)展;2013年12期

8 錢海霞;;微米/納米加工中的聚焦離子束技術(shù)[J];廣東化工;2009年07期

9 房豐洲;徐宗偉;;基于聚焦離子束的納米加工技術(shù)及進(jìn)展[J];黑龍江科技學(xué)院學(xué)報(bào);2013年03期

10 ;我國(guó)基于聚焦離子束技術(shù)構(gòu)建三維納米結(jié)構(gòu)研究獲進(jìn)展[J];功能材料信息;2013年04期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 朱建國(guó);謝惠民;;基于環(huán)芯法和聚焦離子束技術(shù)的微觀殘余應(yīng)力測(cè)試技術(shù)及其應(yīng)用[A];中國(guó)力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

2 金愛(ài)子;陳雷明;崔錚;;聚焦離子束雙束系統(tǒng)在材料科學(xué)與技術(shù)中的應(yīng)用[A];科技、工程與經(jīng)濟(jì)社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展——中國(guó)科協(xié)第五屆青年學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

3 馬向國(guó);顧文琪;;納米聚焦離子束系統(tǒng)液態(tài)金屬離子源的研制[A];中國(guó)微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（一）[C];2005年

4 唐雷鈞;謝進(jìn);陳一;鄭國(guó)祥;宗祥福;;聚焦離子束(FIB)的透射電鏡制樣[A];第十一次全國(guó)電子顯微學(xué)會(huì)議論文集[C];2000年

5 周偉敏;徐南華;;聚焦離子束(FIB)快速制備透射電鏡樣品[A];第十三屆全國(guó)電子顯微學(xué)會(huì)議論文集[C];2004年

6 姜巖峰;張曉波;;聚焦離子束寫入技術(shù)對(duì)MEMS失效構(gòu)件的修復(fù)[A];中國(guó)微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（一）[C];2005年

7 章曉文;林曉玲;陳嬡;;FIB的工作原理及其應(yīng)用[A];2009第十三屆全國(guó)可靠性物理學(xué)術(shù)討論會(huì)論文集[C];2009年

8 黃慶;劉鵬;王晨;王雪林;徐雪峰;顏莎;;聚焦離子束在LiNbO_3及KTP等晶體上的亞微米刻蝕研究[A];2008年全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國(guó)電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)焊接專業(yè)委員會(huì)第九屆全國(guó)電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國(guó)離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國(guó)高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 張少婧;基于聚焦離子束技術(shù)的微刀具制造方法及關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];天津大學(xué);2009年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 徐星亮;聚焦離子束刻蝕誘導(dǎo)液滴形成及其遷移[D];電子科技大學(xué);2014年

2 陳強(qiáng);聚焦離子束在集成電路失效分析中的應(yīng)用和實(shí)例分析[D];上海交通大學(xué);2007年

3 王貞;對(duì)TEM原理及應(yīng)用的研究[D];天津大學(xué);2009年

，

本文編號(hào)：650465