本文關(guān)鍵詞：白色光阻材料在OGS工藝中的應(yīng)用

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【摘要】：分析了白色光阻材料在不同溫度、不同厚度和不同化學(xué)品浸泡下色度值、分辨率和附著力的變化情況。驗(yàn)證了白色光阻材料在OGS(One glass solution)觸摸屏生產(chǎn)中的工藝條件。首先,關(guān)注白色光阻材料的光密度值(OD值)、分辨率、耐化性、耐高溫性能以及在不同厚度下白色光阻材料的色度變化。然后對(duì)白色光阻材料和觸摸屏制作工藝進(jìn)行工藝整合,提出了采用白色光阻加黑矩陣的雙層結(jié)構(gòu),可以保證白色光阻材料的OD值,防止后面的金屬線被透視出來(lái),其中白色光阻的厚度控制在15μm,黑矩陣的厚度在1.2μm。在后續(xù)的Photo工藝時(shí),調(diào)整工藝參數(shù),加大了PR的厚度并加大曝光顯影時(shí)間,成功解決了這種高段差造成的金屬線Open和Remain問題,并采用OGS工藝制作了白色光阻觸摸屏樣品。
【作者單位】： 京東方科技集團(tuán)股份有限公司技術(shù)研發(fā)中心;
【關(guān)鍵詞】： 白色光阻 色度 耐化性 光密度
【基金】：京東方科技集團(tuán)股份有限公司研發(fā)火種基金項(xiàng)目(No.FR25)~~
【分類號(hào)】：TB34
【正文快照】： 1引言人們對(duì)于手機(jī)外觀的美觀度要求越來(lái)越高,白色外觀的手機(jī)受到了更多青睞,現(xiàn)有的白色外觀的手機(jī)觸摸屏面板多是采用白色油墨絲網(wǎng)印刷工藝涂覆的,但OGS(One glass solution)[1-2]現(xiàn)有的生產(chǎn)線一般都是采用PHOTO制成定制的生產(chǎn)設(shè)備,如果想生產(chǎn)白色外觀的手機(jī)還需要單獨(dú)購(gòu)買絲

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1 ;臺(tái)灣研制出新穎電子束光阻材料[J];硅酸鹽通報(bào);2010年03期

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本文編號(hào)：631710