本文關(guān)鍵詞：類金剛石薄膜在硅基底上的沉積及其熱導(dǎo)率

  更多相關(guān)文章： 類金剛石薄膜 化學(xué)氣相沉積 熱導(dǎo)率 分子動力學(xué)模擬

【摘要】：采用分子動力學(xué)方法模擬了碳在晶體硅基底上的沉積過程,并分析計(jì)算了所沉積的類金剛石薄膜的面向及法向熱導(dǎo)率.對沉積過程的模擬表明,薄膜密度及sp~3雜化類型的碳原子所占比例均隨沉積高度的增加而減小,在碳原子以1 e V能量垂直入射的情況下,在硅基底上沉積的薄膜密度約為2.8 g/cm~3,sp~3雜化類型的碳原子所占比例約為22%,均低于碳在金剛石基底上沉積的情況.采用Green-Kubo方法,計(jì)算了所沉積類金剛石薄膜的熱導(dǎo)率,其面向熱導(dǎo)率可以達(dá)到相同尺寸規(guī)則金剛石晶體的50%左右,并且隨著薄膜密度與sp~3雜化類型碳原子所占比例的升高而升高.
【作者單位】： 清華大學(xué)工程力學(xué)系;中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所江蘇省醫(yī)用光學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 類金剛石薄膜 化學(xué)氣相沉積 熱導(dǎo)率 分子動力學(xué)模擬
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:51376191,51321002)資助的課題~~
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 1引言大功率白光LED在醫(yī)療檢測、保密通信、特殊照明等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,但芯片散熱問題嚴(yán)重制約其發(fā)展.為了解決芯片散熱問題,有研究者提出在LED芯片的硅基底上通過化學(xué)氣相沉積法沉積一層類金剛石(diamond like carbon,DLC)薄膜來提高其散熱能力[1,2].金剛石、石墨烯

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 唐雄心,趙建生;攙雜氟對類金剛石薄膜的影響[J];材料導(dǎo)報(bào);2002年04期

2 張慰萍,陳競,方容川,胡克良;制備類金剛石薄膜過程中的等離子體發(fā)射光譜[J];物理化學(xué)學(xué)報(bào);1992年03期

3 齊軍,雒建斌,王靜,李文治,溫詩鑄;離子輔助轟擊能量對類金剛石薄膜性能的影響[J];材料工程;2000年02期

4 冷永祥,黃楠,孫鴻,陳俊英,萬國江,王進(jìn);真空弧源沉積類金剛石薄膜及其性能研究[J];功能材料;2003年02期

5 李敬財(cái),何玉定,胡社軍,黃拿燦;類金剛石薄膜的應(yīng)用[J];新材料產(chǎn)業(yè);2004年03期

6 田中章浩;類金剛石薄膜和金剛石薄膜的最新制備技術(shù)與各種特性[J];珠寶科技;2004年06期

7 王進(jìn),Sunny C.H.Kwok,陳俊英,楊萍,黃楠,P.K.Chu;磷摻雜類金剛石薄膜的制備與性能研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2005年02期

8 沈風(fēng)雷,聞荻江,王紅衛(wèi);電沉析條件對鈦合金表面液相沉積類金剛石薄膜的影響(英文)[J];功能材料;2005年08期

9 劉成龍,楊大智,彭喬,鄧新綠;類金剛石薄膜在模擬體液中的電化學(xué)阻抗[J];硅酸鹽學(xué)報(bào);2005年11期

10 趙之明;李合琴;顧金寶;;類金剛石薄膜的制備及其電阻率、光譜特性研究[J];真空;2007年06期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張俊彥;王成兵;;超潤滑類金剛石薄膜的制備[A];第八屆全國摩擦學(xué)大會論文集[C];2007年

2 郭力軍;張貴鋒;劉正堂;許念坎;鄭修麟;;類金剛石薄膜的制備及影響折射率的因素分析[A];首屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];1992年

3 盧春燦;賈曉芳;潘婧;梁佳佳;聶朝胤;;類金剛石薄膜結(jié)合力改善技術(shù)[A];TFC’09全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2009年

4 代偉;孫麗麗;吳國松;汪愛英;;線性離子束制備高性能、大面積類金剛石薄膜的研究[A];TFC’09全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2009年

5 代偉;吳國松;孫麗麗;張棟;汪愛英;;鉻摻雜類金剛石薄膜的制備、結(jié)構(gòu)與性能研究[A];TFC’09全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2009年

6 任妮;趙棟才;肖更竭;馬占吉;武生虎;;脈沖電弧沉積的摻鈦多層類金剛石薄膜性能研究[A];TFC’09全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2009年

7 周鴻飛;馬洪濤;;使用拉曼光譜對類金剛石薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析的方法[A];薄膜技術(shù)高峰論壇暨廣東省真空學(xué)會學(xué)術(shù)年會論文集[C];2009年

8 劉志凱;廖梅勇;姚振鈺;柴春林;楊少延;王占國;;質(zhì)量分離低能離子束制備極光滑類金剛石薄膜[A];第四屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2001年

9 張文英 ;黃楠 ;孫鴻 ;冷永祥 ;楊文茂 ;陳俊英;;超硬超厚類金剛石薄膜合成研究[A];第五屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集Ⅱ[C];2004年

10 劉成龍;齊民;徐軍;楊大智;;等離子體復(fù)合技術(shù)沉積梯度類金剛石薄膜及其性能研究[A];TFC'05全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 江美福;反應(yīng)磁控濺射法制備的氟化類金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)和性能研究[D];蘇州大學(xué);2005年

2 李之杰;碳團(tuán)簇沉積類金剛石薄膜機(jī)制的分子動力學(xué)模擬研究[D];復(fù)旦大學(xué);2004年

3 劉凡新;高密度硬盤磁頭用超薄類金剛石薄膜的研究[D];華中科技大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張東燦;金剛石薄膜和類金剛石薄膜摩擦學(xué)性能試驗(yàn)及其應(yīng)用研究[D];上海交通大學(xué);2010年

2 劉敏;功能化類金剛石薄膜調(diào)控神經(jīng)細(xì)胞生長的研究[D];浙江大學(xué);2015年

3 劉博;類碳薄膜成分結(jié)構(gòu)與生物相容性研究[D];西南交通大學(xué);2015年

4 吾凡別克·巴合提;基底粗化和摻氮的類金剛石薄膜制備及其細(xì)胞相容性評價(jià)[D];蘭州大學(xué);2015年

5 卓國海;類金剛石薄膜的膜/基界面調(diào)控及其機(jī)械力學(xué)性能研究[D];江西理工大學(xué);2015年

6 顏建堂;摻硅類金剛石薄膜的制備、結(jié)構(gòu)及光學(xué)性質(zhì)[D];中南大學(xué);2008年

7 夏天榮;脈沖激光沉積類金剛石薄膜過程中工藝參數(shù)對薄膜質(zhì)量影響的研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2010年

8 胡立瓊;摻氮類金剛石薄膜的制備及其表征[D];北京印刷學(xué)院;2006年

9 江河清;液相電沉積類金剛石薄膜及摻雜類金剛石薄膜[D];河南大學(xué);2004年

10 陳海平;摻氮類金剛石薄膜的制備及其結(jié)構(gòu)與光電性質(zhì)研究[D];中南大學(xué);2009年

，

本文編號：629160