本文關鍵詞：載荷對氟硅共摻雜類金剛石膜摩擦學性能的影響

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【摘要】：采用等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)成功制備氟硅共摻雜類金剛石薄膜,采用Raman,XPS對膜層結構與成分進行表征.采用劃痕儀對膜層的結合力進行了測試.摩擦測試結果顯示,在載荷范圍為1~6 N時,膜層具有低摩擦系數(shù)(0.05~0.1);在載荷大于6 N時,摩擦系數(shù)在0.2~0.27之間.對偶磨斑的光學照片顯示,在低載下(1~6 N),磨斑上存在明顯的轉(zhuǎn)移膜,轉(zhuǎn)移膜導致膜層具有低摩擦系數(shù);在高載下,磨合期磨斑上存在穩(wěn)定的轉(zhuǎn)移膜,對應于磨合期的低摩擦系數(shù).然而在磨合期后,磨斑表面轉(zhuǎn)移膜消失,結果導致高摩擦系數(shù).
【作者單位】： 中國科學院蘭州化學物理研究所固體潤滑國家重點試驗室;中國科學院中科院大學;
【關鍵詞】： 摩擦系數(shù) 類金剛石 載荷 Raman XPS
【基金】：甘肅省自然科學基金(145RJDA329)資助~~
【分類號】：TH117;TB383.2
【正文快照】： 眾所周知,類金剛石薄膜的摩擦學行為與周圍環(huán)境有關.諸如在不同環(huán)境下,類金剛石薄膜的摩擦系數(shù)在0.002至1.2之間變化[1 3].然而,通過摻雜的方法可以降低類金剛石薄膜的環(huán)境敏感性,例如,Si摻雜的類金剛石薄膜在大氣和水環(huán)境下具有相同的摩擦系數(shù)(0.1)[4].F和Si共摻雜的類金剛

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本文編號：569277