Cu系納米金屬多層膜微柱體的形變與損傷及其尺寸效應(yīng)
發(fā)布時(shí)間:2017-06-26 10:14
本文關(guān)鍵詞:Cu系納米金屬多層膜微柱體的形變與損傷及其尺寸效應(yīng),,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
【摘要】:納米金屬多層膜材料已成為目前高性能微元器件以及互連結(jié)構(gòu)的核心材料體系,其服役過程中的變形損傷與斷裂是導(dǎo)致系統(tǒng)失效的關(guān)鍵因素.以本課題組近年來(lái)的研究結(jié)果為基礎(chǔ),結(jié)合當(dāng)前國(guó)內(nèi)外有關(guān)金屬多層膜微柱體塑性變形行為研究的最新進(jìn)展,闡述了金屬多層膜微柱體微觀結(jié)構(gòu)-尺寸約束-服役性能三者之間的關(guān)聯(lián)性,揭示了金屬多層膜微柱體變形模式與損傷的內(nèi)在規(guī)律,歸納了晶體/晶體與晶體/非晶兩類層狀結(jié)構(gòu)材料加工硬化/軟化行為的微觀機(jī)理,并對(duì)納米金屬多層膜研究的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望.
【作者單位】: 西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】: 納米金屬多層膜 微柱體 塑性變形 形變損傷 尺寸效應(yīng)
【基金】:國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目2010CB631003 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目51571157,51321003,51322104和51201123 高等學(xué)校學(xué)科創(chuàng)新引智計(jì)劃項(xiàng)目B06025 陜西省自然科學(xué)基金基礎(chǔ)研究計(jì)劃項(xiàng)目2015JM5158資助~~
【分類號(hào)】:TG14;TB383.2
【正文快照】: 強(qiáng)度和韌性是結(jié)構(gòu)材料的兩個(gè)最重要的力學(xué)性能指標(biāo),日益苛刻的應(yīng)用條件和環(huán)境對(duì)材料的強(qiáng)度和韌性指標(biāo)都提出了更高的要求[1~3].傳統(tǒng)的金屬材料強(qiáng)化方法的基本思想是通過持續(xù)地減小材料內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)尺度(如第二相粒子及其間距、晶粒或組織尺度等)以達(dá)到阻礙位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)的目的.實(shí)踐
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本文編號(hào):485767
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