柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層
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【摘要】:研究了利用磁控濺射方法制備的柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層。結(jié)果表明柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層具有以下優(yōu)異性能:是一類具有高硬度、高韌性以及抗裂紋性能的新型涂層;具有較高的硬度模量比(H/E*≥0.1,E*=E/(1-ν~2))、彈性恢復(fù)系數(shù)(We≥60%)、壓應(yīng)力(σ0)L,且少缺陷的微觀結(jié)構(gòu);生長(zhǎng)處于Thornton結(jié)構(gòu)區(qū)域相圖的T區(qū)。磁控濺射非常適合制備納米復(fù)合涂層,文中將對(duì)其制備柔性納米復(fù)合薄膜的機(jī)理做深入闡述。涂層生長(zhǎng)主要受以下3個(gè)參數(shù)影響:涂層生長(zhǎng)過程中吸收的能量Ep,其包含沉積原子攜帶的能量E_(ca)和轟擊離子攜帶等能量E_(bi)(E_p=E_(ca)+E_(bi)),基體溫度Ts和涂層材料的熔點(diǎn)T_m。柔性硬質(zhì)涂層具有廣泛的應(yīng)用前景,如柔性保護(hù)涂層、柔性功能涂層、防脆性涂層開裂的柔性保護(hù)涂層以及柔性多層涂層。文中還將詳細(xì)闡述低溫磁控濺射制備柔性納米復(fù)合涂層的原理,并闡述納米復(fù)合涂層及其性能的發(fā)展趨勢(shì)。
【作者單位】: 西波西米亞大學(xué)物理和NTIS部;
【關(guān)鍵詞】: 硬質(zhì)納米復(fù)合涂層 微觀結(jié)構(gòu) 宏觀應(yīng)力 力學(xué)性能 能量 柔性 裂紋抑制 磁控濺射
【基金】:捷克資助局項(xiàng)目(P108/12/0393)
【分類號(hào)】:TB306
【正文快照】: 引文格式:金德里奇·繆塞爾.柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層[J].中國(guó)表面工程,2016,29(3):1-13.MUSIL J.Flexible hard nanocompositecoatings[J].China Surface Engineering,2016,29(3):1-13(in Chinese).本文經(jīng)Royal Society of Chemistry授權(quán)以中文發(fā)表,翻譯吉小超,審校魏榮華,英文
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