本文關(guān)鍵詞：MPCVD制備大面積自支撐金剛石膜研究進(jìn)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：金剛石膜因其優(yōu)異的物理化學(xué)性質(zhì)備受關(guān)注,而大面積自支撐金剛石膜因其結(jié)構(gòu)完整性在各大領(lǐng)域的應(yīng)用范圍更勝一籌。綜述了大面積自支撐金剛石膜的、研究進(jìn)展和影響其沉積均勻性和沉積速率的因素。表明微波頻率越高,沉積速率越快;而氣體流速對(duì)沉積速率的影響呈現(xiàn)先增大后減少的趨勢(shì);基片臺(tái)的設(shè)計(jì)對(duì)金剛石的均勻性至關(guān)重要;輔助氣體對(duì)金剛石膜的影響與添加的氣體種類有關(guān),微量N_2、O_2的加入可以提高沉積速率。最后對(duì)大面積自支撐金剛石在紅外窗口的應(yīng)用進(jìn)行展望。
【作者單位】： 武漢工程大學(xué)湖北省等離子體化學(xué)與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石膜 大面積 自支撐 均勻性 沉積速率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.11175137) 武漢工程大學(xué)教育創(chuàng)新基金(No.CX2015025)
【分類號(hào)】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言金剛石膜擁有眾多優(yōu)異的性質(zhì),比如硬度高、化學(xué)穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率高、從真空紫外到遠(yuǎn)紅外都有的高透光率等,因此在各大領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用[1-4]。而大面積自支撐金剛石膜由于其結(jié)構(gòu)完整性,應(yīng)用范圍相比普通金剛石膜更廣,在電子熱管理、光學(xué)窗口、高功率微波窗口等方面的

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