本文關(guān)鍵詞：BST鐵電薄膜高頻特性的仿真分析研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：通過微波軟件建模和理論分析方法來分析BST鐵電薄膜材料在微波集成電路中的應(yīng)用,旨在指導(dǎo)器件設(shè)計。借助microwave office和Ansoft HFSSQ3D兩個商業(yè)軟件,構(gòu)造微帶傳輸線,共面波導(dǎo)傳輸線,微帶低通濾波器和信號串?dāng)_等模型,并分析了加入鈦酸鍶鋇(簡稱BST)薄膜前后各種模型的散射參數(shù)(S參數(shù))和群延時。隨后,在SiO_2和BST間加入過渡層(LNO,MgO),模擬分析微波元件參數(shù)的變化。同時還仿真分析了不同硅襯底厚度和不同BST薄膜厚度情況下的能量延時和S參數(shù)。結(jié)果表明,由于BST鐵電薄膜的高介電常數(shù)特性,使得這層薄膜附近的信號線上會產(chǎn)生強(qiáng)烈的信號串?dāng)_。最后以共面波導(dǎo)傳輸線為示例,利用表面微細(xì)加工技術(shù)制備了共面波導(dǎo)傳輸線,并利用網(wǎng)絡(luò)分析儀測試其傳輸性能,實際測試結(jié)果與仿真趨勢一致。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)
【關(guān)鍵詞】： 微波傳輸 BST薄膜 群延時 S參數(shù) 串?dāng)_ 仿真
【基金】：中物院超精密加工技術(shù)重點實驗室開放基金資助(No.KF13001)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： BST(Ba1 xSrxTi O3)屬于鐵電材料[1],具有非常高的相對介電常數(shù)εr(通常其值大于300,取決于工藝),相對低的介質(zhì)損耗tanδ,而且還能通過外加的電場來調(diào)節(jié)其極化強(qiáng)度,進(jìn)而改變其相對介電常數(shù)εr和電容C[2]。正因為這些特性,BST鐵電材料已經(jīng)成 為MEMS技術(shù)、射頻IC電路、微波通

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